Bestimmung des Haftkoeffizienten von Methyl-Radikalen auf amorphen, wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten unter Verwendung von quantifizierten Radikalteilchenstrahlquellen:
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2000
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I
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG 1
1 GRUNDLAGEN 3
1.1 OBERFLAECHENREAKTIONEN BEIM WACHSTUM VON A-C:H . 3
1.2 PRODUKTION UND QUANTIFIZIERUNG VON INTENSIVEN TEILCHENSTRAHLEN. 6
1.2.1 HERSTELLUNG VON THERMISCHEN RADIKALSTRAHLEN HOHER FLUSSDICHTE
. 6
1.2.2 STRAHLFORMUNG BEI DER MOLEKULAXSTROEMUNG. 8
1.3 NACHWEIS VON RADIKALEN. 14
1.3.1 DIE IONISATIONSSCHWELLENMASSENSPEKTROMETRIE (ITMS). 14
1.3.2 DIE STANDARD-MASSENSPEKTROMETRIE (MS) - EIN INVERSES PROBLEM . .
16
2 THEORIE 19
2.1 BAYESSCHE DATENANALYSE. 19
2.1.1 BEDINGTE WAHRSCHEINLICHKEITEN . 19
2.1.2 GRUNDGLEICHUNGEN DER BAYESSCHEN WAHRSCHEINLICHKEITSTHEORIE
. 20
2.1.3 BEHANDLUNG DES VORWISSENS: PRIORWAHRSCHEINLICHKEITEN. 21
2.1.4 LIKELIHOOD-FUNKTION. 22
2.1.5 METROPOLIS-METHODE. 23
2.2 QUANTITATIVE AUSWERTUNG VON MASSENSPEKTREN MIT DER BAYESSCHEN
WAHRSCHEINLICHKEITSTHEORIE. 24
2.2.1 PRINZIP DES ALGORITHMUS. 25
2.2.2 DIE BESTIMMUNG DER DICHTEFUNKTION. 26
3 EXPERIMENT 31
3.1 GRUNDPRINZIP DER THERMISCHEN QUELLE. 31
3.2 EXPERIMENTELLER AUFBAU ZUR CHARAKTERISIERUNG DES TEILCHENFLUSSES. 33
3.3 EXPERIMENT ZUM STUDIUM DES SCHICHTWACHSTUMS . 39
L
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALTSVERZEICHNIS
4 ERGEBNISSE UND DISKUSSION
41
4.1 CHARAKTERISIERUNG DER TEILCHENSTRAHLEN. 41
4.1.1 DISSOZIATION VON WASSERSTOFF. 41
4.
1
.
1.1
DER NACHWEIS VON ATOMAREM WASSERSTOFF . 41
4.1.1.2 WECHSELWIRKUNG VON WASSERSTOFF MIT WOLFRAM. 44
4.1.1.3 METHODEN DER ABSOLUTQUANTIFIZIERUNG MIT DEM QMS
. 46
4.
1
.
1
.4 DER DISSOZIATIONSGRAD.
47
4.1.1.5 DIE WINKELVERTEILUNG . 50
4.1.1
.6
DIE EROSIONSMETHODE .
54
4.1.1.7 VERGLEICH QMS - EROSIONSMETHODE. 56
4.1.1
.8
EINFLUSS DES GEHEIZTEN BEREICHS AUF DIE WINKELVERTEILUNG . . 57
4.1.2 DISSOZIATION VON METHAN.
59
4.
1
.
2.1
DIE WECHSELWIRKUNG VON METHAN MIT WOLFRAM. 60
4.
1
.
2.2
DER NACHWEIS DES METHANS. 61
4.
1
.
2
.3 ITMS-METHODE ZUM METHYL-NACHWEIS. 62
4.1.2.4 STANDARD-MASSENSPEKTROMETRIE ZUM METHYL-NACHWEIS . 64
4.1.2.5 DIE VIBRATORISCHE ANREGUNG DES METHAN-MOLEKUELS.
66
4.1.
2.6
VERUNREINIGUNGEN IM TEILCHENSTRAHL . 67
4.1.3 DISSOZIATION VON AZOMETHAN.
68
4.1.3.1 QUANTIFIZIERUNG DES METHYL FLUSSES MIT DER ITMS-METHODE 69
4.1.3
.2
KONSISTENTE QUANTIFIZIERUNG DER TEILCHENFLUESSE . 71
4.2 WECHSELWIRKUNG DER TEILCHENSTRAHLEN MIT A-C:H.
74
4.2.1 DER HAFTKOEFIIZIENT VON METHYL AUF A-C:H.
74
4.2.2 DIE SIMULTANE WECHSELWIRKUNG VON CH
3
UND H.
77
4.2.3 BESTIMMUNG DER WIRKUNGSQUERSCHNITTE FUER METHYL AUF A-C:H
. 81
ZUSAMMENFASSUNG
§5
A DICHTEFUNKTION FUER DAS MCMC VERFAHREN J
B SINGULAR-VALUE-DECOMPOSITION JX
C ELLIPSOMETRIE XI
LIT ERAT URVERZEICHNIS
XIII |
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