Micro Materials: Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik
Gespeichert in:
Format: | Tagungsbericht Buch |
---|---|
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
Berlin
Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM)
|
Schlagworte: | |
Beschreibung: | Literaturangaben |
Beschreibung: | 21 cm |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 ca4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV013381364 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 001002nuuuuuuuugw |||| 10||| und d | ||
016 | 7 | |a 959651217 |2 DE-101 | |
035 | |a (DE-599)BVBBV013381364 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | |a und | ||
044 | |a gw |c DE | ||
245 | 1 | 0 | |a Micro Materials |b Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik |c Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik |
264 | 1 | |a Berlin |b Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) | |
300 | |a 21 cm | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
500 | |a Literaturangaben | ||
650 | 0 | 7 | |a Werkstoff |0 (DE-588)4065579-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
689 | 2 | 0 | |a Werkstoff |0 (DE-588)4065579-9 |D s |
689 | 2 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
689 | 2 | |5 DE-604 | |
700 | 1 | |a Michel, Bernd |e Sonstige |4 oth | |
710 | 2 | |a Berliner Congress-Center |e Sonstige |0 (DE-588)10007646-4 |4 oth | |
711 | 2 | |a MicroMat |n 1 |d 1995 |c Berlin |j Sonstige |0 (DE-588)5341157-2 |4 oth | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012684096 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804132604238102528 |
---|---|
any_adam_object | |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV013381364 |
ctrlnum | (DE-599)BVBBV013381364 |
format | Conference Proceeding Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01725nam a2200421 ca4500</leader><controlfield tag="001">BV013381364</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">001002nuuuuuuuugw |||| 10||| und d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959651217</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013381364</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Micro Materials</subfield><subfield code="b">Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="c">Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM)</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturangaben</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Werkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4065579-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Werkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4065579-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Michel, Bernd</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Berliner Congress-Center</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)10007646-4</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="711" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">MicroMat</subfield><subfield code="n">1</subfield><subfield code="d">1995</subfield><subfield code="c">Berlin</subfield><subfield code="j">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)5341157-2</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012684096</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift gnd-content |
genre_facet | Konferenzschrift |
id | DE-604.BV013381364 |
illustrated | Not Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T19:55:28Z |
institution | BVB |
institution_GND | (DE-588)10007646-4 (DE-588)5341157-2 |
language | Undetermined |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012684096 |
open_access_boolean | |
physical | 21 cm |
publishDateSort | 0000 |
publisher | Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) |
record_format | marc |
spelling | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik Berlin Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Literaturangaben Werkstoff (DE-588)4065579-9 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s DE-604 Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Werkstoff (DE-588)4065579-9 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s Michel, Bernd Sonstige oth Berliner Congress-Center Sonstige (DE-588)10007646-4 oth MicroMat 1 1995 Berlin Sonstige (DE-588)5341157-2 oth |
spellingShingle | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik Werkstoff (DE-588)4065579-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
subject_GND | (DE-588)4065579-9 (DE-588)4221617-5 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4039207-7 (DE-588)1071861417 |
title | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik |
title_auth | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik |
title_exact_search | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik |
title_full | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik |
title_fullStr | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik |
title_full_unstemmed | Micro Materials Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik Micro Mat '95, [28 - 29.11.1995, Berliner Congress Center (BCC)]. Hrsg.: B. Michel ; T. Winkler. DVM - Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V., Arbeitskreis Mikrosystemtechnik |
title_short | Micro Materials |
title_sort | micro materials werkstofforschung werkstoffprufung werkstoffeinsatz in der mikrosystemtechnik |
title_sub | Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik |
topic | Werkstoff (DE-588)4065579-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
topic_facet | Werkstoff Mikrosystemtechnik Mikromechanik Mikroelektronik Konferenzschrift |
work_keys_str_mv | AT michelbernd micromaterialswerkstofforschungwerkstoffprufungwerkstoffeinsatzindermikrosystemtechnik AT berlinercongresscenter micromaterialswerkstofforschungwerkstoffprufungwerkstoffeinsatzindermikrosystemtechnik AT micromatberlin micromaterialswerkstofforschungwerkstoffprufungwerkstoffeinsatzindermikrosystemtechnik |