Grenzflächenreaktionen in Funktionsschichten auf Flachglas:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
Schriftenreihe: | Berichte aus dem Werkstofftechnik
|
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | 142 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
ISBN: | 3826579372 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
13
2
DUENNSCHICHTANALYTIK
.
19
2.1
E
LEKTRONENSPEKTROSKOPISCHE
M
ETHODEN
(AES,
XPS)
.
19
2.1.1
MESSPRINZIP
.
19
2.1.2
AUGER-ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(AES).
21
2.1.2.1
EMISSION VON
AUGER-ELEKTRONEN
.
21
2.1.2.2
APPARATIVER
AUFBAU
.
24
2.1.2.3
AUGER-UNTERSUCHUNGEN
AN
ISOLATOREN
.
25
2.1.2.4
ARTEFAKTE
.
26
2.1.3
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
27
2.1.3.1
EMISSION
VON
PHOTOELEKTRONEN
.
27
2.1.3.2
APPARATIVER
AUFBAU
.
30
2.1.3.3
MESSUNG
AN
ISOLATOREN
.
30
2.1.3.4
ARTEFAKTE
.
31
2.2
S
EKUNDAERNEUTRALTEILCHEN
-M
ASSENSPEKTROMETRIE
(SNMS)
.
32
2.3
R
OENTGEN
-D
UENNSCHICHTUNTERSUCHUNGEN
.
33
2.3.1
DUENNSCHICHTDIFFRAKTOMETRIE
(GI-XRD)
.
33
2.3.2
ROENTGENREFLEKTOMETRIE
(GI-XRS)
.
34
TEIL
I:
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
GLASSUBSTRATEN
UND
FUNKTIONSSCHICHTEN
.
37
3
ANWENDUNGSBEISPIEL:
CIS
-
DUENNSCHICHTSOLARZELLE
_
37
3.1
H
ERSTELLUNG
DER
CIS-D
UENNSCHICHTSOLARZELLE
(P
ROBLEMSTELLUNG
)
.
38
3.2
M
INIMIERUNG
DER
A
LKALIMIGRATIONSRATE
(L
OESUNGSANSATZ
)
.
40
4
IONISCHE
DIFFUSION
IN
GLAESERN
UND
AUSTAUSCHREAKTIONEN
ZWISCHEN
GLASOBERFLAECHEN
UND
FUNKTIONSSCHICHTEN
_
43
VIII
4.1
B
EWEGLICHKEIT
VON
N
A
+
IN
DER
G
LASMATRIX
.
43
4.1.1
NA
+
-DIFFUSION
IN
SIOI-GLAS
.
43
4.1.2
NA
+
-DIFFUSION
IN
MEHRKOMPONENTIGEN
GLAESERN
.
44
4.1.2.1
GLASSYSTEM
NA2O-SIO2
.
44
4.1.2.2
GLASSYSTEM
NA2O-RO-SIO2
.
44
4.1.2.3
GLASSYSTEM
NA2O-R2O3-SIO2
.
45
4.1.2.4
MISCHALKALIGLAESER
.
46
4.1.3
EINFLUSS
DER
THERMISCHEN
VORGESCHICHTE,
VON
SPANNUNGEN,
ELEKTRISCHEN
FELDERN,
KONZENTRATIONSVERTEILUNG
UND
CHEMISCHEN
REAKTIONEN
.
46
4.1.4
MINIMIERUNG
DER
NA
+
-DIFFUSION
IN
GLAESERN
DURCH
DIE
ZUSAMMENSETZUNG
.
47
4.1.5
GLASSUBSTRATE
FUER
ELEKTRONISCHE
ANWENDUNGEN
.
49
4.2
K
ONTAMINATION
VON
F
UNKTIONSSCHICHTEN
DURCH
G
LASIONEN
.
50
4.2.1
EINFLUSS
DES
GLASSUBSTRATS
AUF
SCHICHTEIGENSCHAFTEN:
BEISPIELE
AUS
DER
LITERATUR
.
51
4.2.1.1
KRISTALLINE
STRUKTUR
VON
TIO2-SCHICHTEN
.
51
4.2.1.2
LEITFAEHIGKEIT
VON
TCO-SCHICHTEN
.
52
4.2.2
CHEMISCHES
POTENTIAL
ALS
TRIEBKRAFT
DER
ALKALIDIFFUSION
.
54
4.2.2.1
BINDUNGSMOEGLICHKEITEN
FUER
NA
+
IN
DER
GLASMATRIX
.
54
4.2.2.2 CHEMISCHES
POTENTIAL
UND
DIFFUSIONSRICHTUNG
.
56
4.2.3
AUSTAUSCHMECHANISMUS
.
58
4.2.3.1
DIFFUSIONSPARTNER
.
58
4.2.3.2
INTERDIFFUSIONSPROZESS
NA
+
/H
+
.
59
5
DIFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
.
62
5.1
D
IFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
:
UE
BERSICHT
UND
E
IGENSCHAFTSPROFIL
.
62
5.7.7
EINTEILUNG
VON
DIFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
.
63
5.1.1.1
BLOCKERSCHICHTEN
UND
CHEMISCHE MODIFIKATION
DER
GLASOBERFLAECHE
.
63
5.1.1.2
OPFERSCHICHTEN
.
64
5.1.2
DIFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
AUF
GLAS:
ANFORDERUNGSPROFIL
.
65
5.2
D
IFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
AUF
G
LAS
.
67
5.2.7
LITERATURUEBERSICHT
.
67
5.2.2
MATERIALUEBERSICHT
.
68
5.2.3
NA
+
-DIFFUSION
IN
MOLYBDAENSCHICHTEN
.
70
5.2.4
EINFLUSS
DES
BESCHICHTUNGSVERFAHRENS
AUF
DIE
QUALITAET
EINER
SPERRSCHICHT
.
72
IX
6
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
74
6.1
B
ESCHICHTUNG
.
76
6.2
D
EALKALISIERUNG
VON
F
LOATGLAS
.
77
6.3
N
ACHWEIS
DER
N
A
+
-D
IFFUSION
DURCH
DUENNE
S
CHICHTEN
.
78
6.3.1
NACHWEIS
MIT
AUGER-SPEKTROSKOPIE
(AES)
.
78
6.3.2
TIEFENAUFGELOESTE
BESTIMMUNG
DER
ELEMENTVERTEILUNG
(SNMS)
.
81
6.4
M
ATERIALCHARAKTERISIERUNG
DER
D
IFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
.
82
6.4.1
TOPOGRAPHIE
(REM)
.
82
6.4.2
DIFFRAKTOMETRIE
(GL-XRD),
DICHTE
UND
RAUHIGKEIT
(GI-XRS)
.
82
7
ERGEBNISSE
.
83
7.1
A
LKALIABGABE
DES
G
LASSUBSTRATS
.
83
7.1.1
AUSWAHL
GEEIGNETER
SUBSTRATGLAESER
.
83
7.1.2
ALKALIABGABE
DER
GLASSUBSTRATE
.
83
7.2
W
IRKSAMKEIT
VON
D
IFFUSIONSSPERRSCHICHTEN
.
85
7.2.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
SPERRWIRKUNG
(AES)
.
85
7.2.2
TIEFENAUFGELOESTE
BESTIMMUNG
DER
NA-KONZENTRATION
(SNMS)
.
87
7.2.3
MATERIALCHARAKTERISTIK
DER
BLOCKERSCHICHTEN
.
89
7.2.3.1
TOPOGRAPHIE
(HR-REM)
.
89
7.2.3.2
DICHTE UND
RAUHIGKEIT
(GI-XRS)
.
90
7.2.3.3
KRISTALLINE
STRUKTUR
(GI-XRD)
.
91
7.3
D
EALKALISIERTE
G
LASOBERFLAECHEN
.
92
7.3.1
VERAENDERUNGEN
DER
GLASOBERFLAECHE
.
92
7.3.2
SPERRWIRKUNG
DEALKALISIERTER
FLOATGLASOBERFLAECHEN
.
94
8
ZUSAMMENFASSUNG
.
95
8.1
M
ODELL
DER
A
USTAUSCHREAKTIONEN
.
95
8.1.1
NA
+
-DIFFUSION
IM
GLAS
.
96
8.1.2
LONENAUSTAUSCH
AN
DER
GRENZFLAECHE
GLAS/BESCHICHTUNG
.
97
8.1.3
NA
+
-DIFFUSION
IN
DER
SCHICHT
.
98
8.2
W
EGE
ZU
EINEM
INERTEN
G
LASSUBSTRAT
FUER
DIE
CIS-D
UENNSCHICHTSOLARZELLE
.
99
8.2.1
EINFLUSS
DES
GLASSUBSTRATS
.
100
8.2.2
WIRKSAMKEIT
VERSCHIEDENER
DIFFUSIONSSPERREN
.
101
8.2.3
SPERRWIRKUNG
DEALKALISIERTER
FLOATGLASOBERFLAECHEN
.
102
TEIL
II:
IONENLEITENDE
SCHICHTEN
.
103
9
ANWENDUNGSBEISPIEL:
ELEKTROCHROME
SCHICHTEN
_
104
9.1
A
UFBAU
EINES
ELEKTROCHROMEN
G
LASES
.
104
9.2
T
RANSMISSIONSAENDERUNG
DES
ELEKTROCHROMEN
G
LASES
.
106
9.3
P
ROBLEMSTELLUNG
UND
Z
IELSETZUNG
.
106
9.4
INTERKALATION
IN
CEO2.X-T1O2
(LITERATURUEBERSICHT)
.
107
10
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
108
11
ERGEBNISSE
.
111
11.1
M
ATERIALCHARAKTERISIERUNG
DER
C
E
O2
X
-T
I
O2-S
CHICHT
.
111
11.2
E
LEKTROCHEMISCHE
M
ESSUNGEN
.
114
11.2.1
ELEKTROLYTWASSERGEHALT
UND
PROBENLAGERUNG
.
114
11.2.2
SPEICHERKAPAZITAET
.
116
11.2.3
INTERKALATIONSMECHANISMUS
UND
KONKURRENZREAKTIONEN
.
117
12
ZUSAMMENFASSUNG
.
120
TEIL
III:
GRENZFLAECHENREAKTIONEN
IN
FUNKTIONSSCHICHTEN
-
EINE
ZUSAMMENFASSUNG
.
122
ABBILDUNGS
VERZEICHNIS
.
130
TABELLENVERZEICHNIS
.
133
LITERATURVERZEICHNIS
.
134 |
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