Elektromigrationsuntersuchungen mit Rastersondenmethoden:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2000
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Beschreibung: | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2000 |
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INHALT
1
EINLEITUNG
1.1
HINTERGRUND
UND
MOTIVATION
1
1.2
KONZEPTION
DER
ARBEIT
2
2
GRUNDLAGEN
DER
ELEKTROMIGRATION
2.1
HISTORISCHER
ABRISS
3
2.2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
5
2.3
EXPERIMENTELLE
GRUNDLAGEN
11
2.3.1
GEOMETRIE
DER
LEITBAHNEN
11
2.3.2
ZUSAMMENSETZUNG
14
2.3.2.A
ALUMINIUMLEGIERUNGEN
14
2.3
.2.B
KUPFER
UND
KUPFERLEGIERUNGEN
15
2.3.3
MECHANISCHE
SPANNUNGEN
16
2.3.3.A
MECHANISCHE
SPANNUNGEN
IN
DUENNEN
SCHICHTEN
16
2.3.3.B
BLECH-STRUKTUREN
17
2.3.4
WEITERE
PARAMETER
19
2.3.4.A
TEXTUR
19
2.3.4.B
TEMPERN
19
2.3.4.C
PASSIVIERUNG
20
2.3
.4.D
TEMPERATUR
21
2.3.4.E
SUBSTRAT
UND
BARRIERESCHICHT
21
2.4
MESSMETHODEN
DER
ELEKTROMIGRATION
22
3
MESSPRINZIP
UND
MESSAUFBAU
3.1
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
27
3.1.1
PRINZIP
UND
THEORIE
27
3.1.2
MESSAUFBAU
DES
RASTERTUNNELMIKROSKOPS
29
3.2
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
31
3.2.1
PRINZIP
UND
THEORIE
31
3.2.2
MESSAUFBAU
DES
RASTERKRAFTMIKROSKOPES
33
INHALT
3.3
UHV
ANLAGE
35
3.4
EIGENE
SIMULATIONEN
37
3.4.1
LEITBAHNEN
UND
SS/ECA-STRUKTUREN
37
3.4.2
DUENNE
SCHICHTEN
38
4
UNTERSUCHUNGEN
VON
LEITBAHNEN
MIT
DEM
RASTERKRAFT
MIKROSKOP
4.1
LEITBAHNEN
IM
POSTMORTALEM
ZUSTAND
42
4.2
LEITBAHNEN
UNTER
GERINGER
STROMBELASTUNG
46
4.3
LANGZEITUNTERSUCHUNGEN
VON
LEITBAHNEN
UNTER
MITTLERER
STROMBELASTUNG
50
4.4
LEITBAHNEN
UNTER
ERHOEHTER
STROMBELASTUNG
55
4.4.1
EXPERIMENT
55
4.4.2
SIMULATIONEN
63
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
VERSUCHSERGEBNISSE
67
5
MESSUNGEN
AN
.B/GCZI-STRUKTUREN
MIT
DEM
RASTERKRAFT
MIKROSKOP
5.1
MESSUNGEN
UND
ERGEBNISSE
69
5.2
SIMULATION
83
5.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
84
II
INHALT
6
UNTERSUCHUNGEN
VON
DUENNEN
FILMEN
MIT
DEM
RASTERTUNNELMIKROSKOP
6.1
MESSUNGEN
87
6.1.1
ALUMINIUM
_
89
6.1.1
.A
AL
AUF
SI
89
6.1.
1
.B
AL
AUF
ITO
_
92
6.1.2
KUPFER
_
94
6.1.2.A
CU
AUF
SI
94
6.1.2.B
CU
AUF
ITO
95
6.1.3
AICU
97
6.1.3
.A
AICU
AUF
ITO
97
6.1.4
VERGLEICH
DER
ERZIELTEN ERGEBNISSE
95
6.2
SIMULATION
VON
ELEKTROMIGRATION
IN
SCHICHTEN
101
7
ZUSAMMENFASSUNG
103
8
ANHANG
8.1
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE:
EINE
NEUE
MOEGLICHKEIT
FUER
DIE
QUALITAETSKONTROLLE
IN
DER
MIKROELEKTRONIKINDUSTRIE
105
8.2
HAEUFIG
VERWENDETE
ABKUERZUNGEN
UND
AUSDRUECKE
109
DANKSAGUNG
NO
LITERATURLISTE
111
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