Fertigungssysteme zur spanenden Herstellung von Mikrostrukturen:
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Aachen
Shaker
2000
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Produktionstechnik
2000,24 |
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INHALT
INHALT
CONTENT
0
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
.
III
1
EINLEITUNG
.
1
2
STAND
DER
ERKENNTNISSE
.
5
2.1
ANWENDUNGSBEREICHE
VON
MIKROSTRUKTURIERTEN
OBERFLAECHEN
.
5
2.2
FERTIGUNGSVERFAHREN
ZUR
MIKROSTRUKTURIERUNG
.
13
2.3
ARTEN,
AUFBAU
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
FERTIGUNGSSYSTEMEN
.
18
3
AUFGABENSTELLUNG
UND
ZIELSETZUNG
.
25
4
KONZEPTION
UND
AUFBAU
EINES
PRUEFSTANDES
.
26
4.1
ANFORDERUNGSPROFIL
.
27
4.2
MASCHINENKONZEPT
.
27
4.3
MESSTECHNISCHE
UNTERSUCHUNG
DES
PRUEFSTANDES
.
33
4.3.1
GEOMETRISCHES
MASCHINENVERHALTEN
.
33
4.3.2
STATISCHES
UND
DYNAMISCHES
VERHALTEN
.
40
4.3.3
THERMISCHE
STABILITAET
.
41
5
ENTWICKLUNG
VON
WERKZEUGEN
UND
AUSRUESTUNGSKOMPONENTEN
.43
5.1
WERKZEUGSYSTEME
.
43
5.1.1
DIAMANT
ALS
SCHNEIDSTOFF
.
43
5.1.2
DIAMANTWERKZEUG-LAEPPMASCHINE
.
45
5.1.3
WERKZEUGE
FUER
DIE
MIKROBEARBEITUNG
.
48
5.1.4
WERKZEUGSPANNMITTEL
.
53
5.1.5
OPTISCHES
WERKZEUGVERMESSUNGSSYSTEM
.
56
5.2
WERKSTUECKSSPANNMITTEL
.
61
5.2.1
MECHANISCHE
SPANNMITTEL
.
62
5.2.2
VAKUUM-SPANNMITTEL
.
63
6
UNTERSUCHUNGEN
DER
MOEGLICHKEITEN
UND
GRENZEN
ANHAND
VON
BEARBEITUNGSVERSUCHEN
.
67
6.1
MIKRODREHEN
.
67
6.2
MIKROHOBELN
.
71
6.3
MIKROFRAESEN
.
74
INHALT
7
URSACHEN
FUER
MASSABWEICHUNGEN
UND
BEARBEITUNGSSTRATEGIEN
.
79
7.3
FEHLERURSACHEN
.
79
7.4
FALLBEISPIELE
FUER
BEARBEITUNGSSTRATEGIEN
.
84
8
5-ACHS-MIKROBEARBEITUNGSMASCHINE
.
92
8.1
PFLICHTENHEFT
.
92
8.2
MASCHINENKONZEPT
UND
KONSTRUKTIVE
GESTALTUNG
.
94
8.2.1
MASCHINENKINEMATIK
.
94
8.2.2
AUSWAHL
UND
DIMENSIONIERUNG
DER
KOMPONENTEN
.
95
8.3
MASCHINENBEURTEILUNG
.
100
8.3.1
MESSTECHNISCHE
UNTERSUCHUNG
.
100
8.3.4
BEARBEITUNGSVERSUCHE
.
106
9
PERSPEKTIVEN
FUER
WEITERENTWICKLUNGEN
.
108
10
ZUSAMMENFASSUNG
.
110
11
LITERATUR
.
112
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