Micromechanics: contributions revised from the technical digest of the Twelfth IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS-99), Orlando, Florida, USA, 17 - 21 January 1999
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 2000
Schriftenreihe:Sensors and actuators / A 80,2
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:279 S. Ill., graph. Darst.

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