Oberflächenemittierende Leistungsdiodenlaser mit Vertikalresonator:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Elektrotechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | II, 130 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
LEISTUNGSDIODENLASER
.
1
1.2
ZIELSETZUNG
UND
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
2
2
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
UND
SIMULATION
5
2.1
ALLGEMEINE
BESCHREIBUNG
DER
VERTIKALLASERDIODEN
(VCSEL)
.
5
2.2
THERMISCHER
WIDERSTAND
.
7
2.3
STROMDICHTE
UND
TEMPERATURVERTEILUNG
.
8
2.4
ELEKTRO-OPTISCHE
AUSGANGSCHARAKTERISTIKEN
.
16
2.4.1
LEISTUNGSKENNLINIE
FUER
EINZELBAUELEMENTE
.
19
2.4.2
GESAMTLEISTUNG
DICHTGEPACKTER
MATRIZEN
.
21
2.5
ABSTRAHLPROFIL
UND
SPEKTRALE
BREITE
.
22
2.5.1
LOESUNGEN
DER
ALLGEMEINEN
WELLENGLEICHUNG
.
22
2.5.2
ABSTRAHLWINKEL
.
25
2.5.3
MODENAUSWAHL
UND
SPEKTRALE
BREITE
.
27
2.5.4
ZAHLENWERTE
.
28
3
TECHNOLOGIE
33
3.1
EPITAXIE
UND
BAUELEMENTSTRUKTUR
.
33
3.2
AETZEN
DER
MESASTRUKTUREN
.
36
3.3
SELEKTIVE
OXIDATION
ZUR
LATERALEN
STROMFUEHRUNG
.
37
3.3.1
OXIDATION
VON
ALGAAS
.
37
3.3.2
OXIDATIONSANLAGE
UND
PROZESSABLAUF
.
39
3.3.3
FUNDAMENTALE
ABHAENGIGKEITEN
DER
OXIDATIONSRATE
.
40
3.3.4
VERSCHIEDENE
BAUELEMENTKONZEPTE
.
44
3.4
ANTIREFLEXSCHICHT
UND
KONTAKTE
.
46
3.5
AUFBAUTECHNIK
.
49
4
MESSVERFAHREN
ZUR
VCSEL-CHARAKTERISIERUNG
53
4.1
MESSPLATZ
ZUR
ELEKTRO-OPTISCHEN
CHARAKTERISIERUNG
.
53
4.2
SCHWELLSTROM
UND
DIFFERENTIELLER
QUANTENWIRKUNGSGRAD
.
54
4.3
SERIENWIDERSTAND
UND
EINSETZSPANNUNG
.
56
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.4
THERMISCHER
WIDERSTAND
UND
TURN-OFF
TEMPERATUR
.
56
4.5
NAH
UND
FERNFELD,
OPTISCHE
SPEKTREN
.
58
5
VCSEL
MIT
EINMODIGER
EMISSION
61
5.1
REDUZIERTE
OPTISCHE
WELLENFUEHRUNG
IN
OXIDIERTEN
VCSELS
.
62
5.2
MODENSELEKTIVER
SCHWELLGEWINN
.
65
5.2.1
SELBSTJUSTIERENDER
HERSTELLUNGSPROZESS
.
66
5.2.2
CHARAKTERISTIKEN
VON
VCSELS
MIT
OBERFLAECHENAETZUNG
.
66
6
GROSSFLAECHIGE
EINZELBAUELEMENTE
73
6.1
VCSEL
MIT
EPITAXIESEITIGER
EMISSION
.
74
6.1.1
ELEKTRO-OPTISCHE
UND
THERMISCHE
CHARAKTERISTIKEN
.
75
6.1.2
OPTISCHES
SPEKTRUM
UND
ABSTRAHLCHARAKTERISTIK
.
78
6.1.3
VERGLEICHENDE
SIMULATIONSRECHNUNGEN
UND
SKALIERUNGSVERHALTEN
.
79
6.2
VCSEL
MIT
SUBSTRATSEITIGER
EMISSION
.
81
6.2.1
ELEKTRO-OPTISCHE
UND
THERMISCHE
CHARAKTERISTIKEN
.
82
6.2.2
OPTISCHES
SPEKTRUM
UND
ABSTRAHLCHARAKTERISTIK
.
84
6.2.3
VERGLEICHENDE
SIMULATIONSRECHNUNGEN
UND
SKALIERUNGSVERHALTEN
.
85
7
ZWEIDIMENSIONALE
LASER-MATRIZEN
87
7.1
THERMISCHES
UEBERSPRECHEN
IN
DICHTGEPACKTEN
MATRIZEN
.
88
7.2
ALGORITHMUS
ZUR
LEISTUNGSBERECHNUNG
DER
MATRIZEN
.
89
7.3
BEISPIEL:
1X3
LASER-MATRIX
.
91
7.4
LEISTUNGSCHARAKTERISTIKEN
ZWEIDIMENSIONALER
MATRIZEN
.
92
7.4.1
MIKROKANALKUEHLER
ALS
AKTIVE
WAERMESENKE
.
93
7.4.2
PASSIVE
KUPFERWAERMESENKE
.
96
7.5
LEISTUNGSSKALIERUNG
IN
DICHTGEPACKTEN
MATRIZEN
.
100
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
105
8.1
LEISTUNGSDIODENLASER
MIT
VERTIKALRESONATOR
.
105
8.2
ANWENDUNGSBEREICHE
.
107
8.3
VERGLEICH
MIT
KANTENEMITTIERENDEN
DIODENLASERN
.
109
A
VERZEICHNIS
WICHTIGER
FORMELZEICHEN
111
B
PROZESSIERUNGSSCHRITTE
113
C
VORVEROEFLENTLICHUNGEN
115
LITERATURVERZEICHNIS
123 |
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