Microsensor applications of porous silicon: from humidity-sensitive sheet to sacrificial layer
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Rittersma, Zacharias Meertinus (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Maastricht Shaker Publ. 1999
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1999
Beschreibung:IV, 188 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:9042300809

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