Charakterisierung und Optimierung der Materialeigenschaften von porösem Silicium für aktive und passive optische Bauelemente:
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1999
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INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG.
2. POROESES SILICIUM: EINE EINFUEHRUNG.
2.1 HERSTELLUNG .
2.1.1 EXPERIMENTELLER AUFBAU .
2.1.2 ELEKTROCHEMIE . .
2.1.2 MODELLE ZUM BILDUNGSPROZEH.
2.1.1 SUBSTRATE.
2.1.5 HERSTELLUNG VON SCHICHT SVSTEINEN . .
2.2 EIGENSCHAFTEN .
2.2.1 MIKROSTRUKTUR.
2.2.2 POROSITAET. VALENZ UND AETZRATE.
2.2.2 KRISTALLINITAET.
2.2.1 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG.
2.2.5 BRECHUNGSINDEX.
2.2.6 CRENZFLAECHENSCHAERFC.
2.2.7 TIEFENHOMOGENITAET.
2.2.8 LUMINESZENZ.
1
2
2
2
5
I
10
12
1
.
10
20
22
22
3. CHARAKTERISIERUNGSNIETHODEN .
2.1 RAMAN STREUUNG .
2.1.1 THEORIE.
2.1.2 AUFBAU DES MEHPLATZES.
2.1.2 SPEZIELLE MEHBEDINGUNGEN FUER POROESES SILICIUM.
2.1.1 AUSWERTUNG.
2.2 PHOTOLUMINESZENZSPEKTROSKOPIE.
2.2 ROENTGENPHOTOEINISSIONSSPEKTROSKOPIE.
2.2.1 THEORIE.
2.2.2 AUFBAU DES MEHPLATZES UND MEHBEDINGUNGEN.
2.2.2 AUSWERTUNG.
2.1 REFLEXIONSSPEKTROSKOPIE.
2.4.1 REFLEXIONSSPEKTROSKOPIE IM INFRAROTEN SPEKTRALBEREICH.
2.4.2 REFLEXIONSSPEKTROSKOPIE IM SICHTBAREN SPEKTRALBEREICH.
2.4.2 REFLEXION. IRANSMISSION UND DIELEKTRISCHE FUNKTION.
28
25
27
28
20
40
41
42
42
44
14
46
48
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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II
IRILI.TLT -W 171 I HNI-
YY'{.1.1 KFFEKTIV MEDIUM 1 HEORIEN. 51
5.1.' ABSORPTIONDUMDEN VON ATOMEN UND MOLEKUELEN IN POROESEM
SILICIUM. OEL
:{.OE (RAVIMET RIE. 50
YY"{.(1
5^.' METHODE . )I
5.0.1 I LIEORIE. 57
5.0.2 AUFBAU DES MEHPLAT/ES. 05
5.0.5 AUSWCRTUIII'. 00
4
.
5.
HOCIIPOROESES SILICIUM. (9
1.1 KBERKRITISCLIES IROEKNEN . (9
1.1.1 DER I ROCKNUNGSPROZEH AN LUFT. 79
1.1.2 PER UEBERKRIT ISCHE I ROCKNUNGSPROZEH. 72
1.1.5 OPTIMIERUNG DER IIBERKRITISCHEN 1 ROCKNUNGSPARAMETER . 75
1.1.1 KI N 11M LS H*S UEBERKRITISCHEN I RO KNUNGSPROZESSES AUF POROESES
SILICIUM. 75
1.1.5 ALTERNATIVEN ZUR UEBERKRITISCHEN TROCKNUNG. 81
1.2 STEIGERUNG DER PHOTOLUMINESZENZ. 8(I
1.2.1 KINLLUH DER POROSITAET . SB
1.2.2 BELEUCHT UNGSEINLLUH. 91
1.2.5 ('HEMISCHE MODIFIZIERUNG . 95
DIE WAERMELEITFAEHIGKEIT VON POROESEM SILICIUM
95
5.1 ABSCHAETZUNG DER WAERMELEITFAEHIGKEIT. 95
5.2 REPRODUZIERBARKEIT DER MESSUNGEN . 97
5.5 KINLLUH DER SCHICHTDICKE. 99
5.1 KINTLUL DER SUBST RAT DOT IERUNG .100
5.5 KINLLUH DER POROSITAET .102
5.0 \EIGLEICH MIT DEM THEORETISCHEN MODELL.105
6. OPTISCHE KOMPONENTEN AUS POROESEM SILICIUM
.105
TI.L DAS PRINZIP VON INTERFERENZLILTERN.105
0.2 STABILISIERUNG VON POROESEN KINZELSCHICHTEN UND SCHICHT
SYSTEMEN
GEGEN I MWELTEINLLIISSE.107
0.2.1 VORMODILIZIERUNG .1 OS
0.2.2 AUSWAHL DES MET HVDSILANES.108
0.2.5 KINLLUK DER MODIFIZIERUNG MIT MTCS.109
0.2.1 BRECHUNGSINDEX VON MODIFIZIERTEN KINZELSCHICHTEN.111
0.2.5 VERGLEICH CHEMISCHE MODIFIKATION T HERMISCHE OXIDATION . 115
0.5 REFLEKTOREN FUER DIE 1 MWELTANALYTIK.115
INHALTSVERZEICHNIS
7. VARIATION DER AETZRATE DURCH STRUKTURIERUNG.122
7.1 KINFLUIS DER ST RUKT URGROEFSE AUF DAS AT/VERHALTEN .122
7.2 KNTWURF EINER ATZMASKOZUR KONTINUIERLICHEN VARIATION DER ATZRATE
12(I
8. ZUSAMMENFASSUNG.121
A. ANHANG .125
A.L ABKUERZUNGEN.125
A.2 PROZESSIERUNGSPARANIETER.127
PATENTANTRAEGE .12!)
LITERATURVERZEICHNIS.110
DANKSAGUNG .150 |
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