Charakterisierung und Optimierung der Materialeigenschaften von porösem Silicium für aktive und passive optische Bauelemente:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Arens-Fischer, Rüdiger 1967- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 2000
Schriftenreihe:Berichte des Forschungszentrums Jülich 3739
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999
Beschreibung:VII, 152 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm

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