Copper - fundamental mechanisms for microelectronic applications:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Murarka, Shyam P. (VerfasserIn), Verner, Igor V. (VerfasserIn), Gutmann, Ronald J. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Wiley 2000
Schriftenreihe:A Wiley Interscience publication
Schlagworte:
Beschreibung:XIX, 337 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0471252565

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