Entwurf von Oberflächenwellen-Drucksensoren:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1998
|
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| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1998 |
| Beschreibung: | 159 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
6
2
EINFUEHRUNG
8
2.1
EINFUEHRUNG
IN
DIE
DRUCKSENSORIK
.
8
2.2
EINFUEHRUNG
IN
DIE
OBERFLAECHENWELLEN-TECHNIK
.
9
2.2.1
OBERFLAECHENWELLEN
.
10
2.2.2
DER
INTERDIGITALWANDLER
.
10
2.2.3
DER
REFLEKTOR
.
11
2.2.4
DER
RESONATOR
ALS
FUNKABFRAGBARES
OFW-BAUELEMENT
.
12
2.2.5
DIE
REFLEKTIVE
VERZOEGERUNGSSTRECKE
ALS
FUNKABFRAGBARES
OFW
BAUELEMENT
.
14
2.2.6
WIRKPRINZIP
DER
OFW-DRUCKSENSORIK
.
15
3
AUFBAU
DES
OFW-DRUCKSENSORS
17
3.1
DAS
SUBSTRATMATERIAL
QUARZ
.
18
3.1.1
DIE
KRISTALLOGRAPHISCHE
BETRACHTUNG
VON
A-QUARZ
.
18
3.1.2
DIE
PIEZOELEKTRIZITAET
VON
A-QUARZ
.
20
3.1.3
WICHTIGE
MATERIALKONSTANTEN
VON
A-QUARZ
.
21
3.1.4
FESTIGKEIT
UND
ELASTISCHE
NACHWIRKUNG
.
22
3.1.5
A-QUARZ
ALS
SUBSTRATMATERIAL
FUER
OFW-DRUCKSENSOREN
.
23
3.2 DIE
MECHANISCHE
KONZEPTION
DES
OFW-DRUCKSENSORS
.
23
3.3
FUEGETECHNOLOGIEN
.
25
3.3.1
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
FUEGETECHNOLOGIE
.
25
3.3.2
VERBINDUNG
MIT
GLASLOT
.
27
3.3.3
KLEBEVERBINDUNG
.
31
3.3.4
DIVERSE
WEITERE
FUEGETECHNOLOGIEN
.
32
4
DIE
ABHAENGIGKEIT
DER
LAUFZEIT
EINER
OBERFLAECHENWELLE
VON
EINER
MECHANISCHEN
VORSPANNUNG
34
4.1
MECHANISCHE
VORBETRACHTUNGEN
.
34
4.2
AUSBREITUNG
DER
OFW
AUF
MECHANISCH
UNVERSPANNTEN
SUBSTRATEN
.
.
36
4.3
AUSBREITUNG
DER
OFW
AUF
MECHANISCH
VORVERSPANNTEN
SUBSTRATEN
.
.
39
4.3.1
HERLEITUNG
DER
BEWEGUNGSGLEICHUNG
FUER
MECHANISCH
VORVER
SPANNTE
SUBSTRATE
.
39
4.3.2
BERECHNUNG
DER
EFFEKTIVEN
ELASTISCHEN
KONSTANTEN
.
44
4.3.3
BERECHNUNG
DER
OFW-LAUFZEITEMPFINDLICHKEIT
IN
ABHAENGIG
KEIT
DER
ANGELEGTEN
MECHANISCHEN
VORSPANNUNGEN
.
45
4.3.4
DIE
SPANNUNGSKOEFFIZIENTEN
.
52
4.3.5
VERIFIKATION
DER
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
54
5
AUSLEGUNG
VON
OFW-DRUCKSENSORMEMBRANEN
65
5.1
TEMPERATURKOMPENSATION
.
65
5.1.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
.
66
5.1.2
DIE
DIFFERENZMETHODE
.
67
5.1.3
TEMPERATURKOMPENSATION
MITTELS
SEPARATER
TEMPERATURBE
STIMMUNG
.
74
5.1.4
VERGLEICH
VON
DIFFERENZMETHODE
UND
SEPARATER
TEMPERATURBE
STIMMUNG
.
81
5.2
GEEIGNETE
OFW-AUSBREITUNGSSPUREN
AUF
DER
MEMBRANE
.
83
5.2.1
OFW-AUSBREITUNG
PARALLEL
ZU
DEN
MEMBRANKANTEN
.
83
5.2.2
OFW-AUSBREITUNG
DIAGONAL
UEBER
DIE
MEMBRANE
.
87
6
ENTWURF
VON
OFW
-
DRUCKSENSOREN
91
6.1
DRUCKSENSOR
MIT
OFW-AUSBREITUNG
PARALLEL
ZU
DEN
MEMBRANKANTEN
UND
ANWENDUNG
DER
DIFFERENZMETHODE
.
91
6.1.1
ENTWURF
DES
DRUCKSENSORS
UND
VERIFIKATION
DER
SIMULATIONS
ALGORITHMEN
.
91
6.1.2
DIE
UMSETZUNG
DER
DIFFERENZMETHODE
.
93
6.1.3
DIE
KORRELATION
ZWISCHEN
TEMPERATUR
UND
SPANNUNGS
ABHAENGIGKEIT
DER
PHASEN
96
6.1.4
DAS
AUFSITZEN
DER
MEMBRANE
ALS
UEBERLASTSCHUTZ
.
97
6.2
DRUCKSENSOR
ZUM
VERGLEICH
VON
KLEBE
UND
GLASLOTFUEGUNG
.
102
6.2.1
DRUCKSENSOR
MIT
KLEBEFUEGUNG
.
102
6.2.2
DRUCKSENSOR
MIT
GLASLOTFUEGUNG
.
105
6.3
DRUCKSENSOR
MIT
OFW-AUSBREITUNG
DIAGONAL
AUF
DER
MEMBRANE
UND
ANWENDUNG
DER
DIFFERENZMETHODE
.
107
6.4
DRUCKSENSOR
MIT
SEPARATER
TEMPERATURBESTIMMUNG
.
109
6.4.1
ENTWURF
DER
DEN
DRUCK
P
BESTIMMENDEN
VERZOEGERUNGSLEITUNG
.
110
6.4.2
ENTWURF
DER
DIE
TEMPERATUR
T
BESTIMMENDEN
VERZOEGERUNGS
LEITUNG
.
112
6.4.3
AUSWERTUNG
DES
DRUCKSENSORS
.
117
6.5
VERGLEICH
DER
EINZELNEN
DRUCKSENSORENTWUERFE
.
118
7
EINFLUSS
EINER
TOLERANZ
DES
SENSORGEHAEUSES
119
7.1
FEHLJUSTIERUNG
DES
GLASLOT
ODER
DES
KLEBERAHMENS
.
119
7.2
TOLERANZ
DER
SUBSTRATDICKE
.
123
8
DRUCKEMPFINDLICHE
SUBSTRATSCHNITTE
124
8.1
AUSWAHLKRITERIEN
FUER
DRUCKEMPFINDLICHE
SUBSTRATSCHNITTE
.
124
8.1.1
DIE
ANREGBARKEIT
VON
OFW
.
124
8.1.2
DIE
TEMPERATUREMPFINDLICHKEIT
.
125
8.1.3
DIE
DRUCKEMPFINDLICHKEIT
.
125
8.2
ERMITTLUNG
DRUCKEMPFINDLICHER
SUBSTRATSCHNITTE
.
126
8.3
EIGENSCHAFTEN
AUSGEWAEHLTER
DRUCKEMPFINDLICHER
SUBSTRATSCHNITTE
.
.
.
129
8.4
ANWENDUNGSORIENTIERTE
SUBSTRATSCHNITTE
.
134
9
ZUSAMMENFASSUNG
137
A
VERSCHIEDENE
MASSEINHEITEN
FUER
DRUCK
141
B
ERLAEUTERUNGEN
ZU
DEN
SUBSTRATSCHNITTEN
142
B.L
DEFINITION
DER
SUBSTRATSCHNITTE
DURCH
EULERWINKEL
.
142
B.2
TRANSFORMATION
DER
MATERIALKONSTANTEN
.
143
C
MATHEMATISCHE
HERLEITUNGEN
FUER
KAPITEL
4
147
C.L
HERLEITUNG
VON
GL.
(4.42)
.
147
C.2
HERLEITUNG
VON
GL.
(4.45)
.
148
C.3
HERLEITUNG
VON
GL.
(4.46)
.
149
C.4
HERLEITUNG
DER
DEHNUNGSKOEFFIZIENTEN
.
149
D
HERLEITUNGEN
ZU
TCDI
UND
TCD
2
151
D.L
MATHEMATISCHE
HERLEITUNG
VON
TCDI
UND
TCDJ
.
151
D.2
ERMITTLUNG
VON
TCDI
UND
TCDJ
.
152
LITERATURVERZEICHNIS
152 |
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