Laserdeposition ferroelektrischer (Pb 0.92 La 0.08) (Zr 0.65 Ti 0.35) O 3 -Schichten auf Edelstahlsubstraten:
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Shaker
2000
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
3
2.1.
DAS SYSTEM
(PBO.WLAO.OGXZRO.FISTIOJSLOA
(PLZT)
.
3
2.1.1.
PEROWSKITSTRUKTUR
.
3
2.1.2. DIE
GLEICHGEWICHTSPHASEN
DES
PLZT
.
4
2.1.3.
NICHT-GLEICHGEWICHTSPHASE
DES
PLZT
.
7
2.2.
GRUNDLAGEN
DER
FERROELEKTRIZITAET
.
8
2.2.1.
PHAENOMENOLOGISCHE
LANDAUTHEORIE
VON
PHASENUEBERGAENGEN
.
8
2.2.2.
FERROELEKTRISCHE
DOMAENEN
.
11
2.2.3.
FERROELEKTRISCHE
HYSTERESE
.
12
3.
HERSTELLUNG
FERROELEKTRISCHER
PLZT-SCHICHTEN
15
3.1.
LASERABLATION
PLD
.
15
3.1.1.
GRUNDLAGEN
.
15
3.1.2.
LASERABLATIONSANLAGE
.
15
3.2.
SCHICHTHERSTELLUNG
.
16
3.2.1.
TARGETMATERIALIEN
.
16
3.2.2.
SUBSTRATE
.
17
3.2.3.
DEPOSITIONSPARAMETER
.
19
4.
ANALYSE
21
4.1.
STRUKTURELLE
UND
CHEMISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
21
4.1.1.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
(XRD)
.
21
4.1.2.
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
22
4.1.3.
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENFLUORESZENSANALYSE
(EDX)
.
23
4.2.
TOPOGRAPHIE
UND
SCHICHTAUFBAU
.
24
4.2.1.
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
24
4.2.2.
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
(AFM)
.
24
4.2.3.
DYNAMISCHE
SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROSKOPIE
(SIMS)
.
25
4.2.4.
RUTHERFORD-RUECKSTREUSPEKTROSKOPIE
(RBS)
.
25
4.3.
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
25
4.3.1.
DIELEKTRISCHE
MESSUNGEN
.
25
4.3.2.
ELEKTROMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
26
4.3.3.
FERROELEKTRISCHE
MESSUNGEN
.
27
II
INHALTSVERZEICHNIS
5.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
29
5.1.
PHASENBILDUNG
UND
STOECHIOMETRIE
.
29
5.1.1.
PHASENBILDUNG
.
29
5.1.2.
STOECHIOMETRIE
.
33
5.1.3.
OBERFLAECHENBEHANDLUNG
DER
EDELSTAHLSUBSTRATE
.
34
5.2.
MIKROSTRUKTUR
UND
TEXTUR
.
37
5.2.1.
MIKROSTRUKTUR
.
37
5.2.2.
TEXTUR
/
VORZUGSORIENTIERUNG
.
37
5.2.3.
VERGLEICH
ZUM
SYSTEM
YBAJCUSO?.,
//
LAALOA
.
39
5.3.
TEXTURBEEINFLUSSUNG
DURCH
IONENGESTUETZTE
ABSCHEIDUNG
.
43
5.3.1.
EINFLUSS
DES
LONENEINFALLSWINKELS
.
43
5.3.2.
EINFLUSS
DER
LONENART
.
45
5.3.3.
DISKUSSION
.
46
5.4.
INTERFACE
SUBSTRAT
//
PLZT-SCHICHT
.
47
5.4.1.
STRUKTUR
UND
SCHICHTAUFBAU
.
47
5.4.2.
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
51
5.5.
EDELSTAHLLEGIERUNGEN
MIT
VARIIERENDEM
NICKEL-GEHALT
.
53
5.5.1.
PHASENBILDUNG
.
53
5.5.2.
GRENZFLAECHE
.
55
5.5.3.
DISKUSSION
.
56
5.6.
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
57
5.6.1.
ELEKTROMECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
57
5.6.2.
FERROELEKTRISCHE
HYSTERESE
P(E)
.
61
5.6.3.
DEGRADATIONSEIGENSCHAFTEN
.
69
5.6.4.
DIELEKTRISCHES
VERHALTEN
.
74
6.
ZUSAMMENFASSUNG
81
7.
LITERATURVERZEICHNIS
85
DANKSAGUNG
PUBLIKATIONEN
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