Mikrostrukturierung von III-V-Halbleitermaterialien mittels Trockenätzprozesse für optoelektronische Bauelemente:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1999
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| Beschreibung: | Würzburg, Univ., Diss., 2000 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
ZUSAMMENFASSUNG
3
2
EINLEITUNG
7
3
TECHNOLOGIEN
ZUR
HALBLEITERSTRUKTURIERUNG
13
3.1
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
.
14
3.2
REAKTIVES
LONENAETZEN
.
17
4
MESSPLAETZE
ZUR
PROBENCHARAKTERISIERUNG
26
4.1
PHOTOLUMINESZENZ-MESSPLATZ
.
26
4.2
GEPULSTER
LASERDIODENMESSPLATZ
.
27
4.3
CW-LASERDIODENMESSPLATZ
.
28
5
PL-SPEKTROSKOPIE
AN
ALGASB/GASB
QUANTENDRAEHTEN
30
5.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
NIEDERDIMENSIONALER
HALBLEITERSTRUKTUREN
31
5.1.1
VERBINDUNGSHALBLEITER
.
31
5J.2
ELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
ZWEIDIMENSIONALER
HALBLEITER
STRUKTUREN
.
33
5.1.3
ELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
EINDIMENSIONALER
HALBLEITERSTRUK
TUREN
.
37
5.1.4
ZUSTANDSDICHTEN
.
38
5.1.5
OPTISCHE
UEBERGAENGE
.
39
5.2
HERSTELLUNG
VON
AL
X
GA|_
X
SB/GASB
QUANTENDRAHTSTRUKTUREN
.
41
5.3
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DER
ABGAJ-^SB/
GASB
QUANTENDRAEHTE
44
5.4
ZUSAMMENFASSUNG:
PL-SPEKTROSKOPIE
AN
ALGASB/
GASB
QUANTEN
DRAEHTEN
.
51
2
INHALTSVERZEICHNIS
6
AL(IN)GAASSB
LASER
MIT
VERTEILTER
RUECKKOPPLUNG
52
6.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
ZU
HALBLEITERLASERN
MIT
VERTEILTER
RUECK
KOPPLUNG
.
53
6.1.1
DAS
LASERPRINZIP
.
53
6.1.2
VERTIKALE
UND
LATERALE
WELLENFUEHRUNG
.
55
6.1.3
FABRY
-
PEROT
-
LASER
.
57
6.1.4
PRINZIP
DER
VERTEILTEN
RUECKKOPPLUNG
.
58
6.2
HERSTELLUNG
LATERAL
GEKOPPELTER
DFB-LASER
.
61
6.3
ERGEBNISSE
LATERAL
GEKOPPELTER
INGAASSB/ALGAASSB
DFB-LASER
.
67
6.4
ZUSAMMENFASSUNG:
LATERALGEKOPPELTE
ALGA(IN)ASSB
DFB-LASER
.
73
7
ZWEIDIMENSIONALE
PHOTONISCHE
KRISTALLE
1
75
7.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
2D
PHOTONISCHER
KRISTALLE
.
.YY
.
76
7.2
HERSTELLUNG
2D
PHOTONISCHER
KRISTALLE
1
.?.
.
.
81
7.3
LASERN
MIT
2D
PHOTONISCHEN
KRISTALLEN
ALS
RESONATORSPIISGEL
.
88
7.4
ZUSAMMENFASSUNG:
LASER
MIT
2D
PHOTONISCHEN
KRISTALLEN
ALS
SPIEGEL
.
92
.
.
YY
'
1
LITERATURVERZEICHNIS
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