Herstellung und Untersuchung lateraler Nanostrukturen in Resistschichten und Absorberfilmen auf EUV-Multischichtsystemen mittels Rastersondenmethoden:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
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1999
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
3
2.1
RASTERSONDEN-VERFAHREN
.
4
2.2
VERWENDETE
RESISTTYPEN
.
6
2.2.1
PMMA-RESISTS
.
8
2.2.2
SELF-ASSEMBLED
MONOLAYER
(SAM)
.
9
2.3
LATERALSTRUKTURIERUNG
MIT
DEM
STM
.
11
2.4
STRUKTURUEBERTRAG
.
12
2.5
NANOMETERSCHICHTSYSTEME
.
15
3
APPARATIVER
AUFBAU
17
3.1
DER
SPM-AUFBAU
.
19
3.2
DER
MICRO-STM-AUFBAU
.
20
3.3
RASTERSONDENMIKROSKOPE
.
21
4
PROBEN
UND
RESISTPRAEPARATION
25
4.1
PMMA
ALS
MASKENMATERIAL
.
25
4.2
SAM-PRAEPARATION
.
25
4.2.1
SUBSTRATPRAEPARATION
.
26
5
NANOSTRUKTURIERUNG
MIT
DEM
STM
31
5.1
STM-STRUKTURIERUNG
VON
PMMA
.
31
5.2
STM-STRUKTURIERUNG
VON
SAM-SCHICHTEN
.
34
6
STRUKTURUEBERTRAG
43
6.1
UEBERTRAGUNG
DER
PMMA-MASKENSTRUKTUR
IN
DAS
MULTISCHICHT-SUBSTRAT
.
.
43
6.2
UEBERTRAGUNG
DER
SAM-STRUKTUR
IN
DIE
GOLD-ABSORBERSCHICHT
.
46
7
INTERPRETATION
DER
ERGEBNISSE
53
7.1
DIE
STRUKTURIERUNGSPROZESSE
.
53
7.1.1
DER
PMMA-STRUKTURIERUNGSPROZESS
.
53
7.1.2
DER
SAM-STRUKTURIERUNGSPROZESS
.
55
7.2
KRITISCHE
BEWERTUNG
UND
ANALYSE
DER
ERGEBNISSE
.
57
7.3
MESS
UND
INTERPRETATIONSFEHLER
BEI
SPM-METHODEN
.
58
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
63
LITERATURVERZEICHNIS
65
DANKSAGUNG
UND
EIDESSTATTLICHE
ERKLAERUNG
75
LEBENSLAUF
77 |
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