Modellierung des Substrateinflusses in schnellen Silizium-Bipolarschaltungen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2000
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INHALTSVERZEICHNIS
SYMBOL
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
III
1
EINLEITUNG
1
1.1
PROBLEMSTELLUNG
UND
STAND
DER
TECHNIK
.
1
1.2
GLIEDERUNG
DER
VORLIEGENDEN
ARBEIT
.
6
2
GRUNDLAGEN
UND
VORUEBERLEGUNGEN
7
2.1
EINFUEHRUNG
DES
HIER
VERWENDETEN
SUBSTRATBEGRIFFS
.
7
2.2
VERKOPPLUNG
DER
SCHALTUNGSKOMPONENTEN
MIT
DEM
SUBSTRAT
.
8
2.2.1
SCHALTUNGSKOMPONENTEN
IN
TRANSISTORISOLATIONSBOXEN
.
8
2.2.2
SCHALTUNGSKOMPONENTEN
UEBER
DIELEKTRISCHEN
SCHICHTEN
.
11
2.2.3
SONSTIGE
VERBINDUNGEN
ZWISCHEN
SCHALTUNG
UND
SUBSTRAT
.
12
3
NUMERISCHE SUBSTRATSIMULATION
15
3.1
ANFORDERUNGEN
.
15
3.2
ABLEITUNG
DER
GRUNDGLEICHUNGEN
FUER
DIE
SUBSTRATMODELLIERUNG
.
16
3.2.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDBEZIEHUNGEN
.
16
3.2.2
ZUR
FRAGE
DES
MAGNETFELD-EINFLUSSES
.
17
3.2.3
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
WIDERSTAND
UND
KAPAZITAET
BEI
EINEM
HO
MOGENEN
MATERIAL
.
20
3.3
DISKRETISIERUNG
.
21
3.3.1
DISKRETISIERUNGSMETHODE
UND
RANDBEDINGUNGEN
.
21
3.3.2
GENERIERUNG
DES
DISKRETISIERUNGSGITTERS
.
27
3.4
BERECHNUNG
DER
POTENTIALVERTEILUNG
UND
DER
STROEME
IM
SUBSTRAT
.
32
3.4.1
AUFSTELLUNG
DES
GLEICHUNGSSYSTEMS
FUER
DIE
POTENTIALVERTEILUNG
.
32
3.4.2
LOESUNG
DES
GLEICHUNGSSYSTEMS
.
33
3.4.3
BESTIMMUNG
DER
STROEME
IM
SUBSTRAT
.
34
3.5
BESTIMMUNG
DER
ADMITTANZMATRIX
.
36
3.5.1
EINFUEHRUNG
DER
INDEFINITEN
ADMITTANZMATRIX
.
36
3.5.2
BERECHNUNG
DER
INDEFINITEN
ADMITTANZMATRIX
.
37
3.6
BASISPARAMETER
DES
SIMULATORS
UND
IHRE
BESTIMMUNG
.
39
3.7
VEREINFACHUNGSMOEGLICHKEITEN
BEI
DER
NUMERISCHEN
SUBSTRATSIMULATION
.
42
4
EXPERIMENTELLE
VERIFIKATION
DES
NUMERISCHEN
SIMULATORS
SOWIE
UNTERSUCHUNG
UND
NACHBILDUNG
AUSGEWAEHLTER
SUBSTRATKONFIGURATIONEN
49
4.1
VORBEMERKUNG
.
49
4.2
VERWENDETE
ON-WAFER-MESS
VERFAHREN
.
51
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1
KALIBRATIONSMETHODE
.
51
4.2.2
DEEMBEDDING
BEI
SCHWACHER
SUBSTRATKOPPLUNG
.
57
4.3
NUMERISCHE
BESTIMMUNG
DER
ELEMENTWERTE
VORGEGEBENER
ERSATZSCHALTBILDER
63
4.4
BELASTUNG
EINZELNER
SCHALTUNGSKOMPONENTEN
DURCH
DAS
SUBSTRAT
.
65
4.4.1
TESTSTRUKTUREN
.
66
4.4.2
ERSATZSCHALTBILDER
.
67
4.4.3
MESSERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
DER
TESTSTRUKTUREN
.
73
4.5
VERKOPPLUNG
ZWEIER
SCHALTUNGSKOMPONENTEN
.
78
4.5.1
STRUKTUREN
MIT
ZYLINDERSYMMETRISCHEN
TRANSISTORISOLATIONSBOXEN
.
.
78
4.5.1.1
TESTSTRUKTUREN
.
78
4.5.1.2
ERSATZSCHALTBILDER
.
80
4.5.1.3
MESSERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
DER
TESTSTRUKTUREN
.
83
4.5.2
STRUKTUREN
MIT
QUADRATISCHEN
TRANSISTORISOLATIONSBOXEN
.
90
4.5.2.1
TESTSTRUKTUREN
.
90
4.5.2.2
ERSATZSCHALTBILDER
.
94
4.5.2.3
MESSERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
DER
TESTSTRUKTUREN
.
96
4.6
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
DER
EXPERIMENTELLEN
VERIFIKATION
DES
NU
MERISCHEN
SIMULATORS
UND
DER
ERSATZSCHALTBILDER
.
108
5
MODELLIERUNG
DES
SUBSTRATS
BEI
DER
SCHALTUNGSSIMULATION
111
5.1
AUSWAHL
DER
IM
SUBSTRATMODELL
ZU
BERUECKSICHTIGENDEN
KOMPONENTEN
.
111
5.2
BESTIMMUNG
VON
ERSATZSCHALTBILDERN
.
113
5.2.1
REALISIERUNG
DER
NICHT
ZUM
EIGENTLICHEN
SUBSTRAT
GEHOERENDEN
ELE
MENTE
.
113
5.2.2
APPROXIMATION
DES
EIGENTLICHEN
SUBSTRATS
DURCH
EINE
RC-NETZWERKFUNKTION
.
116
5.2.3
REALISIERUNG
DER
RC-NETZWERKFUNKTION
.
123
5.2.4
IMPLEMENTIERUNG
UND
ERSTE
UNTERSUCHUNG
DER
ERSATZSCHALTBILDBESTIM
MUNG
.
125
6
ERSTE
ANWENDUNGSBEISPIELE
127
6.1
TRANSIMPEDANZVERSTAERKER
FUER
EINEN
OPTISCHEN
40
GBIT/S-EMPFAENGER
.
127
6.2 TREIBERSCHALTUNG
FUER
EINEN
OPTISCHEN
10,8
GBIT/S-SENDER
.
132
7
ZUSAMMENFASSUNG
137
A
SPEZIFISCHE
DATEN
DER
VERWENDETEN
TECHNOLOGIE
139
B
BEISPIEL
EINER
EINGABEDATEI
FUER
DEN
PRAEPROZESSOR
DES
NUMERISCHEN
SIMULATORS
141
C
EINSATZ
EINER
INTEGRIERTEN
SCHALTUNG
ZUR
MESSUNG
SCHWACHER
SUBSTRATKOPP
LUNG
143
C.L
VORUEBERLEGUNGEN
.
143
C.2
ENTWURF
EINER
TESTSTRUKTUR
MIT
EINEM
VERSTAERKER
.
144
LITERATURVERZEICHNIS
149 |
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