Entwicklung und Charakterisierung optischer Dünnschichtsensoren:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1999
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2
INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
5
ZUSAMMENFASSUNG
9
1
GRUNDLAGEN
VON
LICHTSENSOREN
11
1.1
INNERER
PHOTOEFFEKT
11
1.2
PN-UEBERGANG
13
2
AMORPHES
SILIZIUM
FUER
OPTISCHE
SENSOREN
16
2.1
MATERIAL
16
2.2
HERSTELLUNG
19
2.3
LADUNGSTRAEGERTRENNUNG
21
2.4
ELEKTRISCHE
KONTAKTIERUNG
22
2.5
MESSTECHNIK
ZUR SENSORCHARAKTERISIERUNG
25
2.5.1
TRANSMISSION
25
2.5.2
TEMPERATURABHAENGIGE
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
26
2.5.3
EXTERNE
QUANTENAUSBEUTE
28
2.5.4
STROM-SPANNUNGSCHARAKTERISTIK
28
3
SCHWARZWEISS-SENSOREN
30
3.1
STAND
DER
TECHNIK
30
3.2
TFA-KONZEPT
34
3
3.3
SENSORAUFBAU
36
3.4
KONTAKTMATERIAL
UND
DEPOSITIONSTEMPERATUR
38
3.5
DOTIERTE
SCHICHTEN
41
3.6
SIGNALDYNAMIK
UND
TEMPERATURVERHALTEN
43
3.7
VARIATION
DER
SPEKTRALEN
EMPFINDLICHKEIT
46
3.8
LADUNGSTRAEGERGENERATIONSPROFIL
50
3.9
PROZESSENTWICKLUNG
FUER
TFA-SENSORSYSTEME
51
3.10
PIXELSEPARATION
/
UEBERSPRECHEN
54
4
FARBSENSOREN
58
4.1
FARBMETRIK
59
4.2
FARBDETEKTION:
STAND
DER
TECHNIK
62
4.3
NIPIN-TYP
63
4.3.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
63
4.3.2
EINFLUSS
DER
P-SCHICHTDICKE
64
4.3.3
VARIATION
DER
INTRINSISCHEN
SCHICHTDICKE
67
4.3.4
SIGNALDYNAMIK
UND
SCHALTVERHALTEN
69
4.3.5
LANGZEITSTABILITAET
72
4.3.6
AUSLESEELEKTRONIK
74
4.4
PIIN-/PIIIN-TYP
76
4.4.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
76
4.4.2
VARIATION
VON
BANDABSTAND
UND
SCHICHTDICKE
78
4
4.4.3
FARBDYNAMIK
84
4.4.4
INTENSITAETSABHAENGIGKEIT
85
4.4.5
TEMPERATURVERHALTEN
90
4.4.6
SCHALTVERHALTEN
92
4.4.7
POSITION
IN
DER
NOMRFARBTAFEL
93
4.5
EINSEITIG
KONTAKTIERBARE
FARBSENSOREN
95
4.5.1
PRINZIP
DER
KONTAKTIERUNG
95
4.5.2
ERSTE
ERGEBNISSE
96
5
AUSBLICK
99
A
ANHANG
101
A.L
DEFINITION
DER SPEKTRALBEREICHE
101
A.2
LICHTQUELLEN
102
LITERATURVERZEICHNIS
105
LEBENSLAUF
115
DANKSAGUNG
116 |
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