Wolff, D. (2000). Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten. Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wolff, Detlef. Wachstum Und Eigenschaften Von Ionenstrahlunterstützt Aufgedampften TiN-Schichten. Aachen: Shaker, 2000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wolff, Detlef. Wachstum Und Eigenschaften Von Ionenstrahlunterstützt Aufgedampften TiN-Schichten. Shaker, 2000.
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