Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | V, 115 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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IONENSTRAHL- UNTERSTUETZT AUFGEDAMPFTEN TIN-SCHICHTEN D 386 (DISS.
UNIVERSITAET KAISERSLAUTEM) SHAKER VERLAG AACHEN 2000 INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 DAS IBAD-VERFAHREN 3 2.1
LONENSTRAHLUNTERSTUETZTE VERFAHREN ZUR OBERFLAECHENVEREDELUNG 3 2.2
GRUNDLAGEN DES IBAD-PROZESSES 4 3 DIE IBAD-APPARATUR 7 3.1 PRINZIPIELLER
AUFBAU 7 3.2 IONENQUELLE UND EXTRAKTIONSSYSTEM 9 3.3 VERDAMPFEREINHEIT
11 4 PROBENPRAEPARATION 13 4.1 VORBEHANDLUNG DER SUBSTRATE 13 4.2
DEFINITION DER BESCHICHTUNGSPARAMETER 13 4.2.1 IONENENERGIE 13 4.2.2
STICKSTOFFIONENFLUSSDICHTE 14 4.2.3 TITANDAMPFTEILCHENFLUSSDICHTE 15 4.2.4
FLUSSRATENVERHAELTNIS 17 5 ANALYSE- UND MESSMETHODEN 19 5.1
SEKUNDAERNEUTRALTEILCHEN-MASSENSPEKTROMETRIE (SNMS-ANALYSE) 19 5.2
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE(XRD-ANALYSE) 21 5.2.1 BRAGG-BRENTANO-METHODE 22
5.2.2 BEUGUNG UNTER STREIFENDEM EINFALL 22 5.2.3
SCHULZ-REFLEXIONS-TECHNIK 23 5.3 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE (AFM-ANALYSE) 23
5.4 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE (REM-ANALYSE) 25 III INHALTSVERZEICHNIS
5.5 TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE (TEM-ANALYSE) 25 5.6
INDENTERMESSUNGEN ZUR BESTIMMUNG DER HAERTE 27 5.7 SCRATCH-TEST ZUR
BESTIMMUNG DER HAFTFESTIGKEIT 30 5.8 BIEGEBALKENMETHODE ZUR BESTIMMUNG
DER SCHICHTSPANNUNG 31 6 UNTERSUCHUNGEN ZUR BEEINFLUSSUNG DER
SCHICHTHAERTE 33 6.1 THEORIE ZUR PLASTISCHEN VERFORMUNG 33 6.1.1
PLASTISCHE VERFORMUNG DURCH STARRES ABGLEITEN GANZER NETZEBENEN 33 6.1.2
PLASTISCHE VERFORMUNG DURCH DAS WANDERN VON VERSETZUNGEN 36 6.1.3
STAENDIGE NEUERZEUGUNG VON VERSETZUNGEN, FRANK-READ-QUELLEN 39 6.1.4
WECHSELWIRKUNGEN ZWISCHEN VERSETZUNGEN, HALL-PETCH-BEZIEHUNG 41 6.2
KONZEPTE ZUM DESIGN VON HARTSTOFFSCHICHTEN 44 6.3 AUSWIRKUNGEN DES
IONENBESCHUSSES AUF DIE SCHICHTHAERTE 46 6.3.1 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG
46 6.3.2 MAKROSPANNUNGEN 48 6.3.3 SCHICHTSTRUKTUR 48 6.3.4 KORNGROESSEN 54
6.4 EXPERIMENTELLER NACHWEIS DER HALL-PETCH-BEZIEHUNG 55 7
UNTERSUCHUNGEN ZUR KORNBILDUNG UNTER IONENBESCHUSS 59 7.1 GRUNDLEGENDE
VORGAENGE BEI DER KEIMBILDUNG AUS DER DAMPFPHASE, KEIMBILDUNGSPROZESSE 59
7.2 KEIMBILDUNGSMODUS BEIM TIN-WACHSTUM OHNE IONENBESCHUSS 60 7.3
AUSWIRKUNGEN DES IONENBESCHUSSES AUF DIE KEIMBILDUNG 61 8
HAFTFESTIGKEITSVERBESSERUNG MITTELS DYNAMISCHER PROZESSFUEHRUNG BEI DER
TIN-BESCHICHTUNG 65 8.1 DEPOSITION AUF SI-SUBSTRATEN 65 8.2 DEPOSITION
AUF POLIERTEM WERKZEUGSTAHL 67 8.3 DYNAMISCHE PROZESSFUEHRUNG 71 RV
INHALTSVERZEICHNIS 9 AUSBILDUNG BEVORZUGTER ORIENTIERUNGEN BEIM
SCHICHTWACHSTUM UNTER GLEICHZEITIGEM IONENBESCHUSS 73 9.1
TEXTUREINSTELLUNG VON IONENSTRAHLUNTERSTUETZT AUFGEDAMPFTEN SCHICHTEN 73
9.1.1 BEVORZUGTE ORIENTIERUNGEN VON TINI-SCHICHTEN 73 9.1.2 BEVORZUGTE
ORIENTIERUNGEN VON CU-SCHICHTEN 76 9.2 EINSTELLUNG BEVORZUGTER
ORIENTIERUNGEN BEI GERINGEM ENERGIEEINTRAG 78 9.2.1 MODELLE ZUR
TEXTUREINSTELLUNG BEI GERINGEM ENERGIEEINTRAG 78 9.2.1.1 MINIMIERUNG DER
VON DER ORIENTIERUNG ABHAENGIGEN FREIEN SCHICHTENERGIE, PELLEG-MODELL
[PEL91] 78 OBERFLAECHENENERGIE 80 SPANNUNGSENERGIE 80 9.2.1.2
EVOLUTIONAERE SELEKTION BEIM SCHICHTWACHSTUM [DRI67] 86 9.2.2
EXPERIMENTELLE UEBERPRUEFUNG DER MECHANISMEN ZUR TEXTUREINSTELLUNG BEI
GERINGEM ENERGIEEINTRAG 90 ELEKTRONENBEUGUNG AN TIN-SCHICHTQUERSCHNITTEN
90 POLFIGUREN VON TIN-SCHICHTEN UNTERSCHIEDLICHER DICKE 94 9.2.3
UEBERPRUEFUNG DER MECHANISMEN ZUR TEXTUREINSTELLUNG BEI GERINGEM
IONENBESCHUSS DURCH VERGLEICH MIT KUPFERSCHICHTEN 95 9.3 TEXTURWECHSEL
BEI GESTEIGERTEM ENERGIEEINTRAG DURCH IONENBESCHUSS 98 10 ZUSAMMENFASSUNG
107 11 LITERATURVERZEICHNIS 109 V
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