Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse: Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich
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Aachen
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2000
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INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
EINFUEHRUNG
_
1
1.2
STAND
DER
FORSCHUNG
2
1.3
ZIEL
DER
ARBEIT
5
2
EINFUEHRUNG
IN
DIE
THEORETISCHEN
GRUNDLAGEN
7
2.1
DIE
KONVENTIONELLE
ESMA
7
2.2
ESMA
DUENNER
SCHICHTEN
11
2.3
ZERSTOERUNGSFREIE
TIEFENPROFFLANALYSE
14
2.4
ESMA-SPUTTERTIEFENPROFFLANALYSE
16
2.5
GRENZEN
UND
MOEGLICHKEITEN
DER
SPUTTERTIEFENPROFFLTECHNIK
_
23
3
GRUNDLEGENDE
EXPERIMENTE
28
3.1
EXPERIMENT
28
3.1.1
PRINZIP
DER
ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
28
3.1.2
PRINZIP
DER
SPUTTERUNTERSTUETZTEN
ESMA
29
3.13
PROBENBESCHREIBUNG
UND
-HERSTELLUNG
30
3.1.4
ANWENDUNG
DER
IN
SITU-TECHNIK
_
31
3.13
KRATERKANTEN-LINE-SCAN
METHODE
34
3.13.1
SPUTTERPARAMETER
EINER
INTEGRIERTEN
LONENKANONE
IN
EINER
AUGER-SONDE
_
34
3.13.2
LINE-SCAN-MESSUNGEN
IN
DER
ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
35
3.1.6
ERGEBNISSE DER
MESSUNG
_
35
3.2
RESULTATE
UND
DISKUSSION
38
3.2.1
VERGLEICH
DER
EXPERIMENTELLEN
MIT
SIMULIERTEN
INTENSITAETSVERLAEUFEN
_
38
3.23
REKONSTRUKTION
MITTELS
EINER
MODIFIZIERTEN
DUENNFILMTECHNIK
40
3.23.1
BESCHREIBUNG
DES
ALGORITHMUS
_
40
33.2.2
ERGEBNISSE
40
33.2.3
DISKUSSION
42
333
TIEFENAUFLOESUNG
DER
METHODE
45
333.1
DEFINITION
DER
TIEFENAUFLOESUNG
_
45
3.23.2
BESTIMMUNG
DER
TIEFENAUFLOESUNG
_
46
3.23.3
AUSWIRKUNG
VON
TIEFENKALIBRIERUNGSFEHLER
AUF
DIE
TIEFENAUFLOESUNG
_
46
3.23.4
BESTIMMUNG DER
UEBERGANGSBREITEN
50
333.5
RELATIVE
VERSCHIEBUNG
DER
ELEMENTSPEZIFISCHEN
UEBERGANGSZONEN
54
INHALTSVERZEICHNIS
II
3.2.3.6
URSACHEN
FUER
ENDLICHE
TIEFENAUFLOESUNG
_
56
4
REKONSTRUKTION
68
4.1
EINFUEHRUNG
IN
DIE
REKONSTRUKTION
VON
ELEMENT-TIEFENPROFILEN
68
4.2
HERLEITUNG
DES
ALGORITHMUS
69
4.3
DARSTELLUNG
DES
ALGORITHMUS
FUER
EINEN
SPEZIALFALL
_
71
4.4
EINFUEHRUNG
IN
DIE
MAXIMALE-ENTROPIE-ANALYSE
75
4.5
ENTFALTUNGSALGORITHMUS
AUF
DER
BASIS
DER
MAXIMALE-ENTROPIE-METHODE78
4.5.1
SIMULATION
EINES
SPUTTERTIEFENPROFU-EXPERIMENTES
78
4.5.2
EINBAU
DES
ZU
LOESENDEN
GLEICHUNGSSYSTEMES
IN
DIE
MAXENT-GTEICHUNGEN
_
80
4.5.3
PROGRAMMSTRUKTUR
81
4S.4
EINFLUSS
DER
ENTROPIE
AUF
DIE
REKONSTRUKTION
84
4.5.5
ERGEBNIS
DER
MAXENT-ANALYSE
86
4.5.6
ANWENDUNG
DES
ENTFALTUNGSALGORITHMUS
AUF
EXPERIMENTELLE
DATEN
_
87
4.6
GRENZEN
DER
REKONSTRUKTION
93
4.7
TIEFENPROFILANALYSE
MITTELS
KALOTTENSCHLIFFTECHNIK
95
4.7.1
ALLGEMEINES
ZUR
KALOTTENSCHLIFFTECHNIK
95
4.7.2
EXPERIMENT
_
96
4.7.3
AUSWERTUNG
_
97
5
ZUSAMMENFASSUNG
_
104
6
LITERATURVERZEICHNIS
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