Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse: Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | II, 116 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826575016 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013218880 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010709 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000620s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 959205756 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826575016 |c kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00 |9 3-8265-7501-6 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76154576 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013218880 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a PHY 790d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 264d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Richter, Silvia |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse |b Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich |c Silvia Richter |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2000 | |
| 300 | |a II, 116 S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Physik | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronenstrahlmikroanalyse |0 (DE-588)4151898-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Elektronenstrahlmikroanalyse |0 (DE-588)4151898-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009007438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009007438 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807504637192830976 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
EINFUEHRUNG
_
1
1.2
STAND
DER
FORSCHUNG
2
1.3
ZIEL
DER
ARBEIT
5
2
EINFUEHRUNG
IN
DIE
THEORETISCHEN
GRUNDLAGEN
7
2.1
DIE
KONVENTIONELLE
ESMA
7
2.2
ESMA
DUENNER
SCHICHTEN
11
2.3
ZERSTOERUNGSFREIE
TIEFENPROFFLANALYSE
14
2.4
ESMA-SPUTTERTIEFENPROFFLANALYSE
16
2.5
GRENZEN
UND
MOEGLICHKEITEN
DER
SPUTTERTIEFENPROFFLTECHNIK
_
23
3
GRUNDLEGENDE
EXPERIMENTE
28
3.1
EXPERIMENT
28
3.1.1
PRINZIP
DER
ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
28
3.1.2
PRINZIP
DER
SPUTTERUNTERSTUETZTEN
ESMA
29
3.13
PROBENBESCHREIBUNG
UND
-HERSTELLUNG
30
3.1.4
ANWENDUNG
DER
IN
SITU-TECHNIK
_
31
3.13
KRATERKANTEN-LINE-SCAN
METHODE
34
3.13.1
SPUTTERPARAMETER
EINER
INTEGRIERTEN
LONENKANONE
IN
EINER
AUGER-SONDE
_
34
3.13.2
LINE-SCAN-MESSUNGEN
IN
DER
ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
35
3.1.6
ERGEBNISSE DER
MESSUNG
_
35
3.2
RESULTATE
UND
DISKUSSION
38
3.2.1
VERGLEICH
DER
EXPERIMENTELLEN
MIT
SIMULIERTEN
INTENSITAETSVERLAEUFEN
_
38
3.23
REKONSTRUKTION
MITTELS
EINER
MODIFIZIERTEN
DUENNFILMTECHNIK
40
3.23.1
BESCHREIBUNG
DES
ALGORITHMUS
_
40
33.2.2
ERGEBNISSE
40
33.2.3
DISKUSSION
42
333
TIEFENAUFLOESUNG
DER
METHODE
45
333.1
DEFINITION
DER
TIEFENAUFLOESUNG
_
45
3.23.2
BESTIMMUNG
DER
TIEFENAUFLOESUNG
_
46
3.23.3
AUSWIRKUNG
VON
TIEFENKALIBRIERUNGSFEHLER
AUF
DIE
TIEFENAUFLOESUNG
_
46
3.23.4
BESTIMMUNG DER
UEBERGANGSBREITEN
50
333.5
RELATIVE
VERSCHIEBUNG
DER
ELEMENTSPEZIFISCHEN
UEBERGANGSZONEN
54
INHALTSVERZEICHNIS
II
3.2.3.6
URSACHEN
FUER
ENDLICHE
TIEFENAUFLOESUNG
_
56
4
REKONSTRUKTION
68
4.1
EINFUEHRUNG
IN
DIE
REKONSTRUKTION
VON
ELEMENT-TIEFENPROFILEN
68
4.2
HERLEITUNG
DES
ALGORITHMUS
69
4.3
DARSTELLUNG
DES
ALGORITHMUS
FUER
EINEN
SPEZIALFALL
_
71
4.4
EINFUEHRUNG
IN
DIE
MAXIMALE-ENTROPIE-ANALYSE
75
4.5
ENTFALTUNGSALGORITHMUS
AUF
DER
BASIS
DER
MAXIMALE-ENTROPIE-METHODE78
4.5.1
SIMULATION
EINES
SPUTTERTIEFENPROFU-EXPERIMENTES
78
4.5.2
EINBAU
DES
ZU
LOESENDEN
GLEICHUNGSSYSTEMES
IN
DIE
MAXENT-GTEICHUNGEN
_
80
4.5.3
PROGRAMMSTRUKTUR
81
4S.4
EINFLUSS
DER
ENTROPIE
AUF
DIE
REKONSTRUKTION
84
4.5.5
ERGEBNIS
DER
MAXENT-ANALYSE
86
4.5.6
ANWENDUNG
DES
ENTFALTUNGSALGORITHMUS
AUF
EXPERIMENTELLE
DATEN
_
87
4.6
GRENZEN
DER
REKONSTRUKTION
93
4.7
TIEFENPROFILANALYSE
MITTELS
KALOTTENSCHLIFFTECHNIK
95
4.7.1
ALLGEMEINES
ZUR
KALOTTENSCHLIFFTECHNIK
95
4.7.2
EXPERIMENT
_
96
4.7.3
AUSWERTUNG
_
97
5
ZUSAMMENFASSUNG
_
104
6
LITERATURVERZEICHNIS
108 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Richter, Silvia |
| author_facet | Richter, Silvia |
| author_role | aut |
| author_sort | Richter, Silvia |
| author_variant | s r sr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013218880 |
| classification_tum | PHY 790d PHY 803d CHE 264d |
| ctrlnum | (OCoLC)76154576 (DE-599)BVBBV013218880 |
| discipline | Physik Chemie |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013218880</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010709</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000620s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959205756</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826575016</subfield><subfield code="c">kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00</subfield><subfield code="9">3-8265-7501-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76154576</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013218880</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 790d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 264d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Richter, Silvia</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse</subfield><subfield code="b">Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich</subfield><subfield code="c">Silvia Richter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 116 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Physik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahlmikroanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151898-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Elektronenstrahlmikroanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151898-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009007438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009007438</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013218880 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T01:12:27Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826575016 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009007438 |
| oclc_num | 76154576 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | II, 116 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Physik |
| spelling | Richter, Silvia Verfasser aut Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich Silvia Richter Aachen Shaker 2000 II, 116 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Physik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf Elektronenstrahlmikroanalyse (DE-588)4151898-6 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s Elektronenstrahlmikroanalyse (DE-588)4151898-6 s Sputtern (DE-588)4182614-0 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009007438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Richter, Silvia Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Elektronenstrahlmikroanalyse (DE-588)4151898-6 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4182614-0 (DE-588)4151898-6 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich |
| title_auth | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich |
| title_exact_search | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich |
| title_full | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich Silvia Richter |
| title_fullStr | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich Silvia Richter |
| title_full_unstemmed | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich Silvia Richter |
| title_short | Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse |
| title_sort | sputterunterstutzte elektronenstrahl mikroanalyse entwicklung einer methode zur quantitativen bestimmung von tiefenprofilen im submikrometerbereich |
| title_sub | Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich |
| topic | Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Elektronenstrahlmikroanalyse (DE-588)4151898-6 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| topic_facet | Sputtern Elektronenstrahlmikroanalyse Tiefenprofilmessung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009007438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT richtersilvia sputterunterstutzteelektronenstrahlmikroanalyseentwicklungeinermethodezurquantitativenbestimmungvontiefenprofilenimsubmikrometerbereich |