Proceedings from the 1st Asian Conference on Chemical Vapour Deposition: May 10 - 13 1999, Shanghai, China
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Asian Conference on Chemical Vapour Deposition Schanghai (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2000
Schriftenreihe:Thin solid films 368,2
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:S. 170 - 326 Ill., graph. Darst.

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