Mikro-Abrasives-Druckluftstrahlen zum Abtragen sprödbrechender Materialien der Mikrosystemtechnik:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Köster
2000
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Schriftenreihe Prozeßmodelle
Bd. 3 |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
I
VERWENDETE
GROESSEN
UND
IHRE
FORMELZEICHEN
III
HAEUFIG
VERWENDETE
INDIZES
VII
BILDERVERZEICHNIS
IX
TABELLENVERZEICHNIS
XIII
1
EINLEITUNG
1
2
MIKRO-ABRASIVES-DMCKLUFTSTRAL)LEN
(MADS)
5
2.1
WIRKUNGSWEISE
DES
MADS
7
2.1.1
STRAHLSPANEN
VON
DUKTILEN
WERKSTOFFEN
9
2.1.2
DRUCKLUFTSTRAHLEN
VON
SPROEDBRECHENDEN
WERKSTOFFEN
10
2.2
STRAHLMITTEL
11
2.2.1
WERKSTOFFEIGENSCHAFTEN
12
2.2.2
KORNGROESSENVERTEILUNG
16
2.3
STRAHLMITTELZUFUHRUNG
19
2.3.1
ANLAGE
NACH
DEM
INJEKTORPRINZIP
20
2.3.2
ANLAGE
NACH
DEM
DRUCKSYSTEM
21
2.3.3
FLIESSVERHALTEN
DES
STRAHLMITTELS
21
2.3.4
STRAHLMITTELDOSIERUNG
24
2.4
DUESENSTROEMUNG
26
2.4.1
ENERGIE
DES
FLUIDS
27
2.4.2
AUSSTROEMGESCHWINDIGKEIT
DER
LUFT
AUS
DER
STRAHLDUESE
28
2.4.3
BETRIEBSVERHALTEN
DER
STRAHLKOEMER
IN
DER
STRAHLDUESE
36
2.4.4
STROEMUNGSGESCHWINDIGKEIT
DER
STRAHLKOEMER
38
2.5
STROEMUNGSVERHAELTNISSE
BEIM
AUFPRALL
43
2.5.1
EINFLUSS
DES
STRAHLMITTELS
AUF
DIE
ERZIELTE
RAUHIGKEIT
44
2.5.2
STRAHLINTENSITAET
46
3
WERKSTOFFEIGENSCHAFTEN
VON
SPROEDBRECHENDEN
MATERIALIEN
47
3.1
LINEAR
ELASTISCHE
BRUCHMECHANIK
47
3.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
SILIZIUM
53
3.3
MATERIALABTRAG
DURCH
EINBRINGEN
VON
MIKRORISSEN
56
4
PROZESSMODELL
FUER
DEN
ABTRAGSMECHANISMUS
61
4.1
KONZENTRATIONSVERTEILUNG
DER
STRAHLKOEMER
IM
FREISTRAHL
62
II
4.1.1
FREISTRAHL
AUS
EINER
DUESE
MIT
SCHMALER
OEFFNUNG
62
4.1.2
FREISTRAHL
AUS
EINER
DUESE
MIT
RUNDER
OEFFNUNG
65
4.2
ABTRAGSMECHANISMUS
BEIM
MADS
66
4.3
ERMITTLUNG
DER
PROZESSPARAMETER
70
4.3.1
EINFLUSS
DER
DUESENGEOMETRIE
UND DES
STRAHLDRUCKES
72
4.3.2
EINFLUSS
DES DUESENABSTANDES
77
4.3.3
EINFLUSS
DES STRAHLWINKELS
80
4.3.4
EINFLUSS
DER DUESENVORSCHUBRICHTUNG
81
4.3.5
EINFLUSS
DES
SUBSTRATWERKSTOFFES
86
4.4
GRENZEN
DES
PROZESSMODELLS
87
5
BRUCHFESTIGKEIT
DER
GESTRAHLTEN
STRUKTUREN
89
5.1
ERMITTLUNG
DER
BRUCHWAHRSCHEINLICHKEIT
90
5.2
BESTIMMUNG
DER
BRUCHFESTIGKEIT
91
5.2.1
MODIFIZIERTER
DOPPELRING-BIEGEVERSUCH
92
5.2.2
MODIFIZIERTER
3-PUNKT-BIEGEVERSUCH
95
5.3
STEIGERUNG
DER
BRUCHFESTIGKEIT
DURCH
NASSCHEMISCHES
AETZEN
102
5.3.1
ISOTROPES
AETZEN
103
5.3.2
FESTIGKEITSSTEIGERUNG
DURCH
AETZEN
104
6
ANWENDUNGSBEISPIELE
109
6.1
DREIDIMENSIONALES
STRUKTURSTRAHLEN
109
6.1.1
BOHREN
VON
LOECHERN
109
6.1.2
STRAHLEN
VON
NUTEN
111
6.
1
.3
SCHAFFEN
VON
FREIRAEUMEN
114
6.2
OBERFLAECHENNAHES
ABTRAGSSTRAHLEN
115
6.2.1
KANTENSTRAHLEN
115
6.2.2
ABTRAGEN
VON
OBERFLAECHENSCHICHTEN
117
6.3
TRENNSTRAHLEN
117
6.3.1
TRENNEN
VON
VERBUNDMATERIALIEN
117
6.3.2
VEREINZELN
VON
MIKROSTRUKTUREN
AUS
EINEM
WAFERVERBUND
120
7
ZUSAMMENFASSUNG
123
8
LITERATURVERZEICHNIS
127 |
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