Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Chemical Vapor Deposition Los Angeles, Calif (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 1996
Schriftenreihe:Electrochemical Society: Proceedings 1996,5
Schlagworte:
Beschreibung:NT: CVD XIII
Beschreibung:XXII, 892 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1566771552

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