Semiconductor wafer bonding: science, technology, and applications V: proceedings of the international symposia
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2001
Schriftenreihe:Proceedings / Electrochemical Society 1999,35
Schlagworte:
Beschreibung:X, 480 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1566772583

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