Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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INHALTSVERZEICHNIS
VII
INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
K
FORMELZEICHEN
IX
ABKUERZUNGEN
XVII
EINLEITUNG
1
1.
MIKROMECHANISCHE
SENSOREN
9
1.1
ELEMENTARAUFHEHMER
11
PERIODISCHE
ANREGUNG
(13)
-
RAUSCHEN
(17)
-
FEDERSTEIFIGKEIT
(20)
-
UEBERLASTFESTIGKEIT
(24)
1.2
WANDLER
31
PIEZOELEKTRISCHER
UND
KAPAZITIVER
WANDLER
(32)
-
PIEZORESISTIVER
WANDLER
(37)
-
RAUSCHEN
(42)
-
VERGLEICH
UND
BEWERTUNG
(47)
2.
VIBRATIONSSENSOR
IN
SILIZIUM-MIKROMECHANIK
53
2.1
SENSOR
MIT
FASEROPTISCHER
SIGNAL
WANDLUNG
53
FUNKTIONSPRINZIP
UND
MODELL
(54)
-
FERTIGUNG
UND
BETRIEB
(59)
-
CHARAKTERISIERUNG
(61)
2.2
PIEZORESISTIVER
SENSOR
71
ENTWURF
(72)
-
MICROMACHINING
(76)
-
KOMPATIBLE
PLANARTECHNOLOGIE
(80)
-
CHARAKTERISIERUNG
(84)
3.
MASCHINENUEBERWACHUNG
97
3.1
VIBRATIONSUEBERWACHUNG
97
WAELZLAGER
(99)
-
KAVITATION
(104)
3.2
RESONANTE
VIBRATIONSMESSUNG
109
VIBRATIONSUEBERWACHUNGSSYSTEM
(115)
4.
FASEROPTISCHE
SIGNALAUSLESUNG
121
4.1
INTEGRATION
VON
III/V-OPTOELEKTRONIK
MIT
SILIZIUM-ELEKTRONIK
UND
SENSORIK
121
III/V-HETEROEPITAXIE
FUER
OPTISCHE
SENDER
UND
EMPFAENGER
AUF
SILIZIUM
(122)
-
ELEKTRISCHE
UND
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
(126)
-
VERSETZUNGSDICHTEREDUKTION
(133)
-
ENTSTEHUNG
VON
VERSETZUNGEN
UND
IHRE
WECHSELWIRKUNG
MIT
ZWILLINGSLAMELLEN
(135)
-
OPTIMIERTER
EPITAXIEPROZESS
(139)
-
QUASISUBSTRAT
UND
BAUELEMENTE
(144)
-
VIN
INHALTSVERZEICHNIS
WEITERE
OPTIMIERUNG
DURCH
FLAECHENSELEKTIVE
EPITAXIE
(149)
4.2
FASER-CHIP-KOPPLUNG
159
HYBRIDE
OPTOELEKTRONISCHE
SCHNITTSTELLE
(161)
-
SENSOR
MIT
FASEROPTISCHER
AUSLESUNG
(165)
5.
MINIATURISIERUNG
173
5.1
EPI-MIKROMECHANIK
174
EPI-MIKROMECHANIK
MIT
III/V-HALBLEITEM
(177)
-
HETEROMIKRO
MECHANIK
(181)
5.2
III/V-HETEROEPITAXIE
AUF
SILIZIUM
FUER
DIE
HETEROMIKROMECHANIK
187
MECHANISCHE
RESONATOREN
IN
HETEROMIKROMECHANIK
(192)
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
205
ANHANG
AL
AL
GLEICHUNGEN
DER
MECHANIK
UND
DER
SCHWINGUNGSLEHRE
AL
A2
MECHANISCHE,
PIEZORESISTIVE
UND
PIEZOELEKTRISCHE
KONSTANTEN
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