Hochauflösende Sekundärionen-Massenspektrometrie (TOF-SIMS) an Halbleiterstrukturen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
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1999
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| Beschreibung: | Münster, Univ., Diss., 1999 |
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1. EINLEITUNG _
1
1.1. MOTIV _--- 1
1.2. FORDERUNGEN AN DIE CHEMISCHE OBERFLAECHENANALYSE --2
1.3. ETABLIERTE VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN OBERFLAECHENANALYSE-_- 7
1.3.1. ROENTGEN-PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE (XPS, ESCA)-7
1.3.2. AUGERELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE (AES) --
10
1.3.3. ENERGIEDISPCRSIVE (ROENTGEN-)SPCKTROSKOPIE (EDX) UND
WELLENLAENGENDISPERSIVE
(ROENTGEN-)SPEKTROSKOPIE (WPS) .
.* 2
1.3.4. TOTALREFLEXIONS-ROENTGENFLUORESZENZSPEKTROSKOPIE (TXRF)-12
1.3.5. SEKUNDAEMEUTRALTEILCHENMASSENSPEKTROSKOPIE (SNMS)-13
1.3.5.1. NACHIONISIERUNG MIT ELEKTRONEN _14
1.3.5.2. EINPHOTONEN-NACHIONISIERUNG (LASER-SNMS)_--14
1.3.5.3. MEHRPHOTONEN-NACHIONISIERUNG (LASER-SNMS)- 14
1.3.6. SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROSKOPIE (SIMS)---' 6
2. FLUGZEIT-SEKUNDAERIONENMASSENSPEKTROMETRIE (TOF-SIMS)-17
2.1. DER ELEMENTARPROZESS_- ^ 7
2.1.1. STOSSKASKADENMODELL_---12
2.1.2. LONISIERUNGSWAHRSCHEINLICHKEIT_.---'
2.1.3. DIE KINETISCHE ANFANGSENERGIE DER SEKUNDAERIONEN---19
2.2. EINFLUSS DES TEILCHENBESCHUSSES AUF DIE ERHALTENE INFORMATION-19
2.2.1. STATISCHE UND DYNAMISCHE SIMS--20
2.2.2. EINFLUESS DER PRIMAERIONEN AUF DIE STATISCHE SIMS _---21
2.2.3. EINFLUSS DER PRIMAERIONEN AUF DIE DYNAMISCHE SIMS-_22
2.3. TEILCHENOPTISCHE ELEMENTE_--- 23
2.3.1. DER FLUGZEIT-ANALYSATOR. 23
2.3.1.1. FLUGZEITDISPERSION_ 23
2.3.1.2. WEITERE ELEMENTE DES ANALYSATORS_28
2.3.2. DIE IONENQUELLEN_ 30
2.4. VERFAHRENSTECHNISCHE BESONDERHEITEN_.---31
2.4.1. VORGANG DER TIEFENPROFILIERUNG_--31
2.4.2. VORGANG DER LADUNGSKOMPENSATION -- 31
2.5. MECHANISCHE HANDHABUNG DER PROBE_- 32
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/958651248
3. INSTRUMENTELLE ENTWICKLUNGEN_
33
3.1. UEBERBLICK UEBER DURCHGEFUEHRTE ENTWICKLUNGEN ZU EINER VERBESSERUNG
VON TOF-SIMS
FUER DIE ANALYSE VON STRUKTUREN IN DER MIKROELEKTRONIK_ 33
3.2. COMPUTER-SIMULATIONEN_ 36
3.2.1. SIMULATION DES FLUGZEIT-ANALYSATORS_37
3.3. IONENQUELLEN_ 3G
3.3.1. DIE LMIS-3-LINSER-SAEULE _
I^_3G
3.3.1.1. GRUENDE UND FORDERUNGEN FUER DIE ENTWICKLUNG_38
3.3.1.2. WEG DER REALISIERUNG_39
3.3.1.3. BETRIEBSMODI DER 3-LINSER-SAEULE MIT GALLIUM-LMIS_42
3.3.1.4. STRAHLENERGIE DER GALLIUM-LMIS _47
3.3.2. DIE ZWEISTRAHL-IONENQUELLE (YYDUAL-BEAM-QUELLE") _ 49
3.3.2.1. DIE ELEKTRONENSTOSS-GASIONENQUELLE_5 J
3.3.2.2. DIE CAESIUM-QUELLE_ 52
3.3.2.3. ANALYSEBETRIEB DER ZWEISTRAHL-QUELLE_54
3.3.2.4. NIEDERENERGETISCHER BETRIEB DER ZWEISTRAHL-QUELLE ZUR
TIEFENPROFILIERUNG_55
3.3.2.5. ERHOEHUNG DES PROBENSTROMES FUER DIE EI-GASIONENQUELLE_58
3.4. ENTWICKLUNGEN ZUM FLUGZEIT-ANALYSATOR_ 59
3.4.1 BETRACHTUNG DER NACHWEISGRENZE BEZUEGLICH DER DATENRATE_60
3.4.2. ANALYSATOR-TOTSCHALTUNG UEBER ZUSAETZLICHE ABLENKPLATTEN _61
3.4.2.1 BEDEUTUNG DER ANALYSATOR-TOTSCHALTUNG FUER DIE PULSUNG DES
EXTRAKTIONSFELDES_61
3.4.3. UNTERGRUND-ZAEHLEREIGNISSE UND NACHWEISGRENZE_ 63
3.4.3.1 VERRINGERUNG DES UNTERGRUNDES DURCH KAPSELUNG DES DETEKTORS_64
3.4.3.2. ERHOEHUNG DER AKZEPTANZ BEI KAPSELUNG DES DETEKTORS _65
3.4.4. MESSUNG BEI GENEIGTER PROBE_ 67
3.4.5. ROHDATENERFASSUNG_ 71
3.5. PROBENNAVIGATION_72
3.5.1. ANFORDERUNGEN AN DIE PROBENNAVIGATION _72
3.5.2. PROBENBUEHNE UND REZIPIENT FUER 12"-WAFER _73
3.5.2.1. MECHANISCHES GRUNDKONZEPT_ 73
3.5.2.2. MESSUNG DES VERFAHRWEGES_ 75
3.5.2.3. AUTOMATISIERUNG UND ANPASSUNG AN MODERNE REINRAUMKONZEPTE_76
3.5.3. ANFAHRGENAUIGKEIT DER PROBENBUEHNE_77
3.5.3.1. WEITERE EINFLUESSE AUF DIE ANFAHRGENAUIGKEIT VON
PROBENPOSITIONEN_80
4. ANWENDUNGSBEISPIELE _83
4.1. LANGMUIR-BLODGET-SCHICHTEN_83
4.1.1. ERGEBNISSE_84
4.1.2. DISKUSSION_87
4.2. PARTIKEL AUF OBERFLAECHEN_88
4.2.1. ERGEBNISSE_88
4.2.2. DISKUSSION_90
4.3. VERGRABENE DEFEKTE_90
4.3.1. ERGEBNISSE_90
4.3.2. DISKUSSION_92
4.4. FLACHE IMPLANTATIONSPROFILE_93
4.4.1. IMPLANTATION VON ARSEN IN SILIZIUM_93
4.4.1.1. ERGEBNISSE_94
4.4.1.2. DISKUSSION_95
4.4.2. IMPLANTATION VON PHOSPHOR IN SILIZIUM_96
4.4.2.1. ERGEBNISSE_96
4.4.2.2. DISKUSSION_98
5. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK_101
5.1. AUSBLICK_ 102
6
. VERZEICHNISSE _105
6.1. LITERATURVERZEICHNIS_105
6.2. ABBILDUNGSVERZEICHNIS_108
6.3. TABELLENVERZEICHNIS_109
7. DANKSAGUNG_111 |
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