Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | 99 S. Ill. : 21 cm |
| ISBN: | 3826572947 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013142650 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20000929 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000502s2000 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 958892814 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826572947 |c kart. : DM 79.00, sfr 79.00, S 549.00 |9 3-8265-7294-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76121139 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013142650 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 |a DE-706 | ||
| 100 | 1 | |a Wöhner, Thomas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie |c Thomas Wöhner |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2000 | |
| 300 | |a 99 S. |b Ill. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Physik | |
| 500 | |a Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Auger-Spektroskopie |0 (DE-588)4122843-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallschicht |0 (DE-588)4252858-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Metallschicht |0 (DE-588)4252858-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Auger-Spektroskopie |0 (DE-588)4122843-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008954032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008954032 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804127841854423040 |
|---|---|
| adam_text | BERICHTE AUS DER PHYSIK THOMAS WOEHNER LONENSTRAHL-INDUZIERTE RAUHIGKEIT
BEI DER TIEFENPROFILERMITTLUNG POLYKRISTALLINER METALLSCHICHTEN MIT DER
AUGERELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE SHAKER VERLAG AACHEN 2000
INHALTSVERZEICHNIS: 0 EINLEITUNG 9 1 GRUNDLAGEN 11 1.1
AUGERELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE (AES) 11 1.2 TIEFENPROFILIERUNG 12 1.3
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE (AFM) 14 2 DIE OBERFLAECHENRAUHIGKEIT 17 2.1
DEFINITION UND MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG 17 2.2 RAUHIGKEITSARTEN BEI
DER TIEFENPROFILIERUNG 19 2.2.1 INITIAL- UND INTERFACERAUHIGKEIT 19
2.2.2 SPUTTERINDUZIERTE RAUHIGKEIT 21 2.2.2.1 SPUTTERTHEORIE
EINKRISTALLINER STOFFE 24 2.2.2.2 MATERIALABHAENGIGKEIT 26 3 UNTERSUCHUNG
DER SPUTTERINDUZIERTEN RAUHIGKEIT 31 3.1 RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE DER
SPUTTERINDUZIERTEN RAUHIGKEIT POLY- KRISTALLINER METALLSCHICHTEN 32
3.1.1 STATISTISCHE ANALYSE DES AFM-BILDES - THEORETISCHE GRUNDLAGEN 32
3.1.2 UNTERSUCHUNG DER SPUTTERINDUZIERTEN RAUHIGKEIT AM
SPUTTERKRATERRAND 35 3.1.3 DIE SPUTTERINDUZIERTE RAUHIGKEIT IN
ABHAENGIGKEIT VON DER MITTLEREN SPUTTERTIEFE 38 3.1.3.1 DIE RAUHIGKEIT R
Q 38 3.1.3.2 DIE TIEFENVERTEILUNGSFUNKTION F, 40 3.1.3.3 DIE
WINKELVERTEILUNGSFUNKTION F ( 44 3.1.4 DIE VERTEILUNGSFUNKTIONEN F, UND
F* IN ABHAENGIGKEIT VOM KIPPUNGS- WINKEL DER PROBE 47 3.2 SIMULATION DER
SPUTTERINDUZIERTEN RAUHIGKEIT 49 3.2.1 COMPUTERGESTUETZTE SIMULATION 49
3.2.2 MODELLE UND SIMULATIONSERGEBNISSE 50 3.2.2.1 MEHRSCHICHTMODELL 50
3.2.2.2 RAUHIGKEITSMODELL AMORPHER SCHICHTEN 56 3.2.2.3
RAUHIGKEITSMODELL POLYKRISTALLINER SCHICHTEN 59 4 EINFLUSS DER
SPUTTERINDUZIERTEN RAUHIGKEIT AUF DIE AES-TIEFENPROFILERMITTLUNG 65 4.1
DIE AES-INTENSITAET EINER RAUHEN OBERFLAECHE 65 4.1.1 DIE
AUGER-PEAK-ZU-PEAK-HOEHE RAUHER AI-OBERFLAECHEN ALS FUNKTION DES
KIPPUNGSWINKELS DER PROBE 65 4.1.2 MODELL ZUR BERECHNUNG DER
AES-INTENSITAET EINER RAUHEN OBERFLAECHE 66 4.1.2.1 DIE AES-INTENSITAET
EINER GLATTEN OBERFLAECHE IN ABHAENGIGKEIT VOM KIPPUNGSWINKEL DER PROBE 67
4.1.2.2 DIE AES-INTENSITAET EINER RAUHEN OBERFLAECHE IN ABHAENGIGKEIT VOM
KIPPUNGSWINKEL DER PROBE 72 4.2 SPUTTERPROZESS AUF EINER RAUHEN
OBERFLAECHE - EIN BERECHNUNGSMODELL 73 7 4.3 AES-TIEFENPROFILERMITTLUNG
77 4.3.1 AES-TIEFENPROFILE POLYKRISTALLINER METALLSCHICHTEN 77 4.3.1.1
TIEFENSKALIERUNG 80 4.3.1.2 DIE TIEFENAUFLOESUNG AZ ALS FUNKTION DER
MITTLEREN SPUTTERTIEFE Z 0 80 4.3.2 DER RAUHIGKEITSFAKTOR F R 83 4.3.3
DIE VERSCHMIERUNGSFUNKTION DER AES-TIEFENPROFILE POLYKRISTALLINER
METALLSCHICHTEN 84 5 ZUSAMMENFASSUNG 87 LITERATURVERZEICHNIS 91 LISTE
DER VEROEFFENTLICHUNGEN 93 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 95 GLEICHUNGS- /
TABELLENVERZEICHNIS 97 LEBENSLAUF 99
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Wöhner, Thomas |
| author_facet | Wöhner, Thomas |
| author_role | aut |
| author_sort | Wöhner, Thomas |
| author_variant | t w tw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013142650 |
| ctrlnum | (OCoLC)76121139 (DE-599)BVBBV013142650 |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02059nam a2200493 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013142650</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20000929 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000502s2000 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">958892814</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826572947</subfield><subfield code="c">kart. : DM 79.00, sfr 79.00, S 549.00</subfield><subfield code="9">3-8265-7294-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76121139</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013142650</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wöhner, Thomas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie</subfield><subfield code="c">Thomas Wöhner</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">99 S.</subfield><subfield code="b">Ill. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Physik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Auger-Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122843-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252858-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Metallschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252858-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Auger-Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122843-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008954032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008954032</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013142650 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:39:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826572947 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008954032 |
| oclc_num | 76121139 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-706 |
| owner_facet | DE-703 DE-706 |
| physical | 99 S. Ill. : 21 cm |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Physik |
| spelling | Wöhner, Thomas Verfasser aut Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie Thomas Wöhner Als Ms. gedr. Aachen Shaker 2000 99 S. Ill. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Physik Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2000 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd rswk-swf Auger-Spektroskopie (DE-588)4122843-1 gnd rswk-swf Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd rswk-swf Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Metallschicht (DE-588)4252858-6 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s Sputtern (DE-588)4182614-0 s Rauigkeit (DE-588)4128988-2 s Auger-Spektroskopie (DE-588)4122843-1 s DE-604 GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008954032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Wöhner, Thomas Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd Auger-Spektroskopie (DE-588)4122843-1 gnd Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4128988-2 (DE-588)4122843-1 (DE-588)4252858-6 (DE-588)4182614-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie |
| title_auth | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie |
| title_exact_search | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie |
| title_full | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie Thomas Wöhner |
| title_fullStr | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie Thomas Wöhner |
| title_full_unstemmed | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie Thomas Wöhner |
| title_short | Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie |
| title_sort | ionenstrahl induzierte rauhigkeit bei der tiefenprofilermittlung polykristalliner metallschichten mit der augerelektronen spektroskopie |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd Auger-Spektroskopie (DE-588)4122843-1 gnd Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Tiefenprofilmessung Rauigkeit Auger-Spektroskopie Metallschicht Sputtern Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008954032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT wohnerthomas ionenstrahlinduzierterauhigkeitbeidertiefenprofilermittlungpolykristallinermetallschichtenmitderaugerelektronenspektroskopie |