Introduction to microelectronic fabrication:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jaeger, Richard C. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Reading, Mass. [u.a.] Addison-Wesley 1998
Ausgabe:Reprinted with corr. 1993, [Nachdr.]
Schriftenreihe:Modular series on solid state devices 5
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 232 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0201146959

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