Optische Interferometrie zur In-situ-Kristallwachstumssteuerung von Schichtstrukturen für Vertikalemitter:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1999
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1
EINLEITUNG
5
2
BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN
UND
SPEZIFIKATIONEN
11
2.1
MATERIALSYSTEM
(IN,AL)GAAS
.
12
2.1.1
KRISTALLSTRUKTUR
.
12
2.1.2
BANDSTRUKTUR
.
14
2.2
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
DES
VCSELS
.
19
2.2.1
HAUPTBESTANDTEILE
UND
SCHICHTSTRUKTUR
.
19
2.2.2
VERSTAERKUNG
UND
STROM
AN
DER
SCHWELLE
.
30
2.2.3
OPTISCHE
AUSGANGSLEISTUNG
UND
DIFFERENTIELLER
QUAN
TENWIRKUNGSGRAD
.
33
2.3
SPEZIFIKATIONEN
.
34
2.3.1
BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN
.
34
2.3.2
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN
UND
STRUKTURPARAMETEM
.
35
3
WACHSTUMSPROZESS
UND
VERFAHRENSGENAUIGKEITEN
39
3.1
MOVPE-PROZESS
ZUR
HERSTELLUNG
DER
VCSEL
.
39
3.1.1
REAKTIONSPRINZIPIEN
UND
WACHSTUMSPARAMETER
.
40
3.1.2
REAKTORDESIGN
.
44
3.2
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
STRUKTUR
UND
WACHSTUMSPARAMETEM
45
3.3
GENAUIGKEITEN
DES
WACHSTUMS
OHNE
RUECKKOPPLUNG
.
47
4
GRUNDLAGEN
UND
IMPLEMENTIERUNG
DER
IN
SITU
MESSUNG
51
4.1
PRINZIP
DER
IN
SITU
MESSUNG
MIT
OPTISCHER
INTERFEROMETRIE
.
.
53
4.1.1
REFLEKTIERTE
STRAHLUNG
.
54
4.1.2
EMITTIERTE
STRAHLUNG
.
57
4.1.3
KOMBINATION
VON
EMITTIERTER
UND
REFLEKTIERTER
STRAHLUNG
58
4.2
PRINZIP
DER
(RUECKGEKOPPELTEN)
STEUERUNG
MIT
INTERFEROMETRIE
59
4.3
IMPLEMENTIERUNG
DER
IN
SITU
MESSUNG
.60
2
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.1
MESSAUFBAU
.
60
4.3.2
KALIBRATION
UND
EINSTELLUNG
DER
PARAMETER
.
63
5
ERGEBNISSE
DER
IN
SITU
MESSUNG
71
5.1
WACHSTUNISTEMPERATUR
.
71
5.2
REFLEKTIVITAET
BEI
950
NM
.
72
5.2.1
SIMULATION
.
73
5.2.2
MESSUNG
UND
FIT
.
73
5.2.3
ERREICHBARE
GENAUIGKEITEN
.
74
5.3
REFLEKTIVITAET
BEI
450
NM
.
78
5.3.1
SIMULATION
.
78
5.3.2
MESSUNG
UND
FIT
.
79
5.3.3
ERREICHBARE
GENAUIGKEITEN
.
84
5.4
WECHSEL
DER
MESSWELLENLAENGE
.
85
5.5
MESSUNG
UND
KONSEQUENZEN
DER
AETZWIRKUNG
VON
CBR4
.
86
5.6
ZU
ERWARTENDE
GENAUIGKEITEN
DURCH
RUECKGEKOPPELTE
STEUERUNG
90
6
EX
SITU
MESSUNGEN
93
6.1
WEISSLICHT-REFLEXION
.
93
6.1.1
STRUKTURAUFKLAERUNG
AUS
REFLEXIONSMESSUNGEN
.
93
6.1.2
FELDVERTEILUNG
.
96
6.1.3
BESTIMMUNG
DER
LATERALEN
HOMOGENITAET
.
99
6.2
ROENTGENBEUGUNG
.
101
6.3
TEM
.
103
6.4
HALL
UND
SIMS
.
105
6.5
WIDERSTAND
VON
RESONATOR-TESTSTRUKTUREN
.
109
6.6
PL
VON
QUANTUMWELL-TESTSTRUKTUREN
.
110
6.7
WIDERSTAND
UND
WELLENLAENGE
VON
TESTLASERN
.
112
7
ERGEBNISSE
DER
(RUECKGEKOPPELTEN)
STEUERUNG
113
7.1
REGELUNG
DER
TEMPERATUR
.
113
7.2
KALIBRATION
DER
IN
SITU
FITROUTINE
.
114
7.3
REGELUNG
DER
WACHSTUMSZEITEN
IM
CLOSED
LOOP
BETRIEB
.
118
7.4
VERGLEICH
MIT
LITERATURWERTEN
.
120
7.4.1
KALIBRATION
VOR
DEM
VERSUCH
MITTELS
INTERFEROMETRIE
.
120
7.4.2
KONTROLLE
DES
PROZESSES
DURCH
RUECKGEKOPPELTE
STEUE
RUNG
(CLOSED
LOOP)
.
121
8
MESSUNGEN
DER
BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN
UND
AUSWIRKUN
GEN
DER
RUECKGEKOPPELTEN
STEUERUNG
123
8.1
ELEKTRISCHER
WIDERSTAND
.
124
8.2
SCHWELLENSTROM
.
124
INHALTSVERZEICHNIS
3
8.3
DIFFERENTIELLER
QUANTENWIRKUNGSGRAD
.
126
8.4
AUSWIRKUNG
DER
STEUERUNG
.
127
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
129
9.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
129
9.2
AUSBLICK
.
132
9.2.1
AUTOMATISIERTE
RUECKGEKOPPELTE
STEUERUNG
.
132
9.2.2
IN
SITU
STEUERUNG
FUER
ANDERE
MATERIALSYSTEME
.
133
9.2.3
VERBESSERUNG
DER
REAKTORKOMPONENTEN
.
134 |
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| spelling | Kleinbub, Oliver Verfasser aut Optische Interferometrie zur In-situ-Kristallwachstumssteuerung von Schichtstrukturen für Vertikalemitter vorgelegt von Oliver Kleinbub 1999 145 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ulm, Univ., Diss., 1999 Laserdiode (DE-588)4195920-6 gnd rswk-swf Interferometrie (DE-588)4027296-5 gnd rswk-swf Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd rswk-swf Vertikalresonator (DE-588)4376923-8 gnd rswk-swf Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd rswk-swf Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 gnd rswk-swf Aluminiumarsenid (DE-588)4324566-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Laserdiode (DE-588)4195920-6 s Vertikalresonator (DE-588)4376923-8 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 s Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 s Interferometrie (DE-588)4027296-5 s DE-604 Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 s Aluminiumarsenid (DE-588)4324566-3 s Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008945612&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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