Selektiv vernetzbare 1-Aryl-3,3-dialkyltriazen-haltige Momomere und Polymere: neue Resistmaterialien für die Laser-Mikrostrukturierung
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Utz, Wiss.
2000
|
| Schriftenreihe: | Chemie
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | 190 S. Ill. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
GRUNDLAGEN
.
2
2.1
PHOTOCHEMIE
.
2
2.2
PHOTOLITHOGRAPHIE
.
3
2.2.1
KONVENTIONELLE
PHOTORESISTS
.
4
2.2.2
EXCIMER-LASER-INDUZIERTE
PHOTOABLATION
.
7
2.2.2.1
GRUNDLAGEN
DER
PHOTOABLATION
.
7
2.2.2.2
EXCIMER-LASER
.
9
2.3
POLYMERE
FIIR
DIE
XECL-EXCIMER-LASER-ABLATION
.
10
2.3.1
KOMMERZIELLE
UND
DOTIERTE
POLYMERE
.
10
2.3.2
POLYMERE
MIT
PHOTOLABILEN
SOLLBRUCHSTELLEN
.
11
2.3.3
L-ARYL-3,3-DIALKYLTRIAZEN-HALTIGE
POLYMERE
.
13
2.4
SELEKTIV
VEMETZBARE
MATERIALIEN
FLLR
DIE
EXCIMER-LASER-ABLATION
.
16
3
ZIELSETZUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
.
18
4
KONZEPT
DER
SELEKTIVEN
VERNETZUNG
.
19
4.1
ALLGEMEINE
BETRACHTUNGEN
ZU
PHOTOCHEMISCH
INDUZIERTEN
REAKTIONEN
.
19
4.2
VEMETZUNGSMECHANISMEN
.
20
5
SELEKTIV
VERNETZBARE
TRIAZENHALTIGE
POLYESTER
.
22
5.1
GRUNDLAGEN
DER
HOMO
UND
COPOLYKONDENSATION
.
22
5.2
PHOTOVEMETZUNG
MITTELS
[2+2]RT-CYCLOADDITION
.
25
5.3
HYDROXYFUENKTIONALISIERTE
TRIAZENVERBINDUNGEN
.
27
5.4
PHOTOVEMETZUNG
MITTELS
CINNAMYLIDENMALONYLESTEREINHEITEN
.
31
5.4.1
ALLGEMEINES
ZU
CINNAMYLIDENMALONSAEUREN
.
31
INHALTSVERZEICHNIS
5.4.2
MODELLVERBINDUNGEN
.
32
5.4.3
SYNTHESE
SUBSTITUIERTER
CINNAMYLIDENMALONSAEUREN
.
35
5.4.4
SUBSTITUIERTE
CINNAMYLIDENMALONSAEURECHLORIDE
.
37
5.4.5
TRIAZENHALTIGE
POLYESTER
MIT
CINNAMYLIDENMALONYLEINHEITEN
.
39
5.4.6
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
IN
LOESUNG
.
44
5.4.6.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
POLYESTER
.
44
5.4.6.2
UNABHAENGIGKEIT
DER
CHROMOPHOREN
.
45
5.4.6.3
PHOTOREVERSIBILITAET
DER
[2+2]?R-CYCLOADDITION
BEI
308
NM
.
47
5.4.7
SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SELEKTIVEN
PHOTOVEMETZUNG
.
49
5.4.7.1
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
49
5.4.7.2
FT-IR-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
53
5.4.8
BESTIMMUNG
DER
ABSORPTIONSKOEFFIZIENTEN
IM
POLYMERFILM
.
56
5.4.9
THERMOANALYTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
58
5.4.10
ZUSAMMENFASSUNG
.
61
5.5
PHOTOVEMETZUNG
MITTELS
BIS(BENZYLIDEN)ALKANONEINHEITEN
.
63
5.5.1
BIS(HYDROXYBENZYLIDEN)ALKANONE
MIT
SPEZIFISCHER
ABSORPTION
.
63
5.5.2
HOMO
UND
COPOLYESTER
AUF
DER
BASIS VON
DIVANILLINKETONEN
.
67
5.5.2.1
HOMOPOLYMERISATION
.
67
5.5.2.2
COPOLYKONDENSATION
MIT
GLEICHZEITIGER
VORLAGE
DER
MONOMERE.
68
5.5.2.3
COPOLYKONDENSATION
MIT
SEQUENTIELLER
ZUGABE
DER
MONOMERE
.
74
5.5.3
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
IN
LOESUNG
.
76
5.5.3.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
HOMO-
UND
COPOLYESTER
.
76
5.5.3.2
UNABHAENGIGKEIT
DER
CHROMOPHOREN
.
78
5.5.4
SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SELEKTIVEN
PHOTOVEMETZUNG
.
79
5.5.4.1
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
79
5.5.4.2
FT-IR-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
82
5.5.5
THERMOANALYTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
86
5.5.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
88
6
RADIKALISCHE
PHOTOPOLYMERISATION
.
90
6.1
SYNTHESE
ACRYLATFUNKTIONALISIERTER
TRIAZENMONOMERE
.
90
6.2
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
92
INHALTSVERZEICHNIS
6.2.1
UV-SPEKTROSKOPISCHE
CHARAKTERISIERUNG
IN
LOESUNG
.
92
6.2.2
PHOTOLABILITAET
UND
PHOTOSTABILITAET
IN
SUBSTANZ
.
92
6.3
THERMOANALYTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
94
6.4
PHOTOHAERTUNG
ACRYLATFUNKTIONALISIERTER
TRIAZENMONOMERE
.
96
6.4.1
PHOTOINITIATOREN
MIT
SPEZIFISCHER
ABSORPTION
.
96
6.4.2
REAL-TIME
FT-IR-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
99
6.4.3
UV-SPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNG
DER
VERNETZTEN
HARZE
.
103
6.4.4
THERMOANALYTISCHE
UNTERSUCHUNGEN
DER
VERNETZTEN
HARZE
.
104
6.4.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
105
7
PHOTOSTRUKTURIERUNG
.
106
7.1
ALLGEMEINES
.
106
7.2
ABLATIONSUNTERSUCHUNGEN
BEI
308
NM
.
106
7.2.1
SYSTEMATIK
DER
UNTERSUCHUNGEN
.
106
7.2.2
BESTIMMUNG
DER
CHARAKTERISTISCHEN
ABLATIONSPARAMETER
.
107
7.2.2.1
EINFLUSS
DER
PULSZAHL
AUF
DIE
ABTRAGTIEFE
.
109
7.2.2.2
EINFLUSS
DER
FLUENZ
AUF
DIE
ABTRAGTIEFE
PRO
PULS
.
109
7.2.3
MIKROSTRUKTURIERBARKEIT
.
115
7.2.4
LA-SNMS-UNTERSUCHUNGEN
.
116
7.2.5
XPS-UNTERSUCHUNGEN
.
122
7.3
STABILITAETSUNTERSUCHUNGEN
.
123
7.4
NEGATIV-RESIST-TESTS
.
126
7.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
128
8
ZUSAMMENFASSUNG
.
130
9
EXPERIMENTELLER
TEIL
.
134
9.1
ANALYTISCHE
METHODEN
UND
CHEMIKALIEN
.
134
9.1.1
GERAETE
UND
HILFSMITTEL
.
134
9.1.2
CHEMIKALIEN
UND
LOESUNGSMITTEL
.
135
9.2
MONOMERE
UND
MODELLVERBINDUNGEN
.
135
INHALTSVERZEICHNIS
9.2.1
TRIAZENHALTIGE
VERBINDUNGEN
.
135
9.2.2
SUBSTITUIERTE
CINNAMYLIDENMALONSAEUREDIBENZYLESTER
.
141
9.2.3
SUBSTITUIERTE
CINNAMYLIDENMALONSAEUREN
.
145
9.2.4
SUBSTITUIERTE
CINNAMYLIDENMALONSAEURECHLORIDE
.
148
9.2.5
BIS(3-METHOXYBENZYLIDEN)ALKANONE
.
151
9.3
POLYMERE
.
156
9.3.1
POLY(CINNAMYLIDENMALONSAEURE-BIS-L,4-HYDROXYMETHYLBENZYLESTER)
.
156
9.3.2
TRIAZENHALTIGE
POLYESTER
MIT
CINNAMYLIDENMALONYLEINHEITEN
.
159
9.3.3
BIS(3-METHOXYBENZYLIDENALKANON)-HALTIGE
HOMOPOLYESTER
.162
9.3.4
BIS(3-METHOXYBENZYLIDENALKANON)-HALTIGE
COPOLYESTER
.
164
9.4
DURCHFUEHRUNG
DER
MESSUNGEN
.
169
9.4.1
BESTRAHLUNGSEXPERIMENTE
.
169
9.4.2
THERMOLYSEMESSUNGEN
.
169
9.4.3
DURCHFUEHRUNG
DER
LASERABLATIONSEXPERIMENTE
.
169
9.4.4
LA-SNMS
UNTERSUCHUNGEN
.
170
10
LITERATURVERZEICHNIS
.
171
11
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
177
12
TABELLENVERZEICHNIS
.
181
13
ABKUERZUNGEN
UND
PHYSIKALISCHE
GROESSEN
.
183
14
FORMELVERZEICHNIS
.
185
14.1
MONOMERE
UND
MODELLSUBSTANZEN
.
185
14.2
POLYMERE
.
189 |
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