Carbon containing layers on Silicon: growth, properties and applications
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Osten, H. J. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Uetikon-Zürich Trans Tech Publ. 1999
Schriftenreihe:Materials science foundations 7
Schlagworte:
Beschreibung:77 S. graph. Darst.
ISBN:0878498346

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