Untersuchungen an reinen und Adsorbat-bedeckten Siliziumkarbidoberflächen und Charakterisierung von Metall-Siliziumkarbid-Grenzflächen:
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1998
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
EXPERIMENTELLES
9
2.1
DAS
PROBENMATERIAL
.
9
2.2
DIE
PROBENPRAEPARATION
.
12
2.3
DIE
VAKUUMAPPARATUREN
.
15
2.3.1
ANALYSEKAMMER
.
18
2.3.2
PRAEPARATIONSKAMMER
I
.
18
2.3.3
PRAEPARATIONSKAMMER
II
.
20
2.3.4
ANGEBOTSKAMMER
.
22
2.3.5
PROBENTRANSFERKAMMER
.
23
2.3.6
HREELS-APPARATUR
.
24
2.4
DIE
MESSMETHODEN
.
24
2.4.1
BEUGUNG
NIEDERENERGETISCHER
ELEKTRONEN
.
24
2.4.2
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
25
2.4.3
AUGER-ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
26
2.4.4
KELVIN-METHODE
.
26
2.4.5
HOCHAUFLOESENDE
ELEKTRONENENERGIEVERLUSTSPEKTROSKOPIE
.
.
27
2.4.6
I/V-C/V-MESSUNGEN
.
27
3
REINE
OBERFLAECHEN
28
3.1
DIE
UNTERSCHIEDLICHEN
REKONSTRUKTIONEN
.
28
3.1.1
KUBISCHES
PROBENMATERIAL
.
29
3.1.2
HEXAGONALES
PROBENMATERIAL
.
35
3.2
DIE
ERGEBNISSE
DER
HREEL-SPEKTROSKOPIE
.
41
3.3
DIE
GRAPHITIERTEN
OBERFLAECHEN
.
50
4
OXIDATION
UND
PASSIVIERUNG
58
2
INHALTSVERZEICHNIS
4.1
DIE
OXIDATION
.
58
4.2
DIE
PASSIVIERUNG
.
61
4.2.1
ADSORPTION
VON
H
.
61
4.2.2
PASSIVIERUNG
DURCH
H-ADSORPTION
.
71
4.2.3
PASSIVIERUNG
DURCH
GRAPHITIERUNG
.
73
5
PLASMANITRIERUNG
75
5.1
DIE
NITRIERUNG
.
76
5.2
DIE
WECHSELWIRKUNG
MIT
GRAPH.
OBERFLAECHEN
.
82
6
WECHSELWIRKUNG
MIT
CS
89
6.1
DIE
ADSORPTION
VON
CS
.
89
6.2
DIE
INTERKALATION
VON
CS
.
95
7
METALL-HALBLEITER
-
KONTAKTE
103
7.1
DAS
MIGS-UND-ELEKTRONEGATIVITAET-MODELL
.
103
7.2
METALL-SIC-KONTAKTE
.
105
7.3
DIE
AG
UND
PB-KONTAKTE
AUF
6H-SIC
.
111
8
ZUSAMMENFASSUNG
116
LITERATURVERZEICHNIS
121
VEROEFFENTLICHUNGEN
146 |
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