Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Nanostrukturen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Walter-Schottky-Inst.
1999
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Selected topics of semiconductor physics and technology
26 |
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| Beschreibung: | VI, 163 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 393274926X |
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