Spinodale Entmischung bei Ionenimplantation von Al-AlN-Al2-O3-Schichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Werkstofftechnik
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Düsseldorf, Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | 103 S. 21 cm |
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