Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS):
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin
Köster
2000
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik
69 |
| Subjects: | |
| Physical Description: | III, 280 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3895743720 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013073843 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150324 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000307s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 958519391 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3895743720 |9 3-89574-372-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)722726473 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013073843 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZQ 3700 |0 (DE-625)158072: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Schlichting, Frank |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) |c Frank Schlichting |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Berlin |b Köster |c 2000 | |
| 300 | |a III, 280 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik |v 69 | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1999 | ||
| 650 | 7 | |a Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer |2 swd | |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 830 | 0 | |a Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik |v 69 |w (DE-604)BV009162695 |9 69 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008907927 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804127772364242944 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schlichting, Frank |
| author_facet | Schlichting, Frank |
| author_role | aut |
| author_sort | Schlichting, Frank |
| author_variant | f s fs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013073843 |
| classification_rvk | ZQ 3700 |
| ctrlnum | (OCoLC)722726473 (DE-599)BVBBV013073843 |
| discipline | Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik / Mechatronik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01402nam a22003618cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013073843</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150324 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000307s2000 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">958519391</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3895743720</subfield><subfield code="9">3-89574-372-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)722726473</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013073843</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZQ 3700</subfield><subfield code="0">(DE-625)158072:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schlichting, Frank</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS)</subfield><subfield code="c">Frank Schlichting</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Köster</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 280 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik</subfield><subfield code="v">69</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1999</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik</subfield><subfield code="v">69</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV009162695</subfield><subfield code="9">69</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008907927</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013073843 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:38:39Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3895743720 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008907927 |
| oclc_num | 722726473 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | III, 280 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Köster |
| record_format | marc |
| series | Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik |
| series2 | Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik |
| spelling | Schlichting, Frank Verfasser aut Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) Frank Schlichting 1. Aufl. Berlin Köster 2000 III, 280 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik 69 Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1999 Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer swd (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik 69 (DE-604)BV009162695 69 |
| spellingShingle | Schlichting, Frank Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer swd |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) |
| title_auth | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) |
| title_exact_search | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) |
| title_full | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) Frank Schlichting |
| title_fullStr | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) Frank Schlichting |
| title_full_unstemmed | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) Frank Schlichting |
| title_short | Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) |
| title_sort | entwicklung einer schichtdickenmeßmethode zur untersuchung ultradunner metallfilme auf massiven substraten in der halbleitertechnologie unter verwendung eines toroidalen elektrostatischen elektronen spektrometers telstas |
| topic | Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer swd |
| topic_facet | Metallschicht - Dünne Schicht - Schichtdicke - Dickenmessung - Elektronenspektrometer Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV009162695 |
| work_keys_str_mv | AT schlichtingfrank entwicklungeinerschichtdickenmeßmethodezuruntersuchungultradunnermetallfilmeaufmassivensubstrateninderhalbleitertechnologieunterverwendungeinestoroidalenelektrostatischenelektronenspektrometerstelstas |