Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS):
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Köster
2000
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik
69 |
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