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Schlichting, F. (2000). Entwicklung einer Schichtdickenmeßmethode zur Untersuchung ultradünner Metallfilme auf massiven Substraten in der Halbleitertechnologie unter Verwendung eines toroidalen elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS) (1. Aufl.). Köster.

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Schlichting, Frank. Entwicklung Einer Schichtdickenmeßmethode Zur Untersuchung Ultradünner Metallfilme Auf Massiven Substraten in Der Halbleitertechnologie Unter Verwendung Eines Toroidalen Elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS). 1. Aufl. Berlin: Köster, 2000.

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Schlichting, Frank. Entwicklung Einer Schichtdickenmeßmethode Zur Untersuchung Ultradünner Metallfilme Auf Massiven Substraten in Der Halbleitertechnologie Unter Verwendung Eines Toroidalen Elektrostatischen Elektronen-Spektrometers (TELSTAS). 1. Aufl. Köster, 2000.