Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1999
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 2000 |
| Beschreibung: | VIII, 153 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013057667 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20001009 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000322s1999 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 958926662 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)247563494 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013057667 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-19 |a DE-12 | ||
| 100 | 1 | |a Kovats, Zoltan |d 1968- |e Verfasser |0 (DE-588)122006984 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium |c von Zoltan Kovats |
| 264 | 1 | |c 1999 | |
| 300 | |a VIII, 153 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 2000 | ||
| 650 | 4 | |a Silicium - Heteroepitaxie | |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008897019&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008897019 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812461074542231552 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINFUEHRUNG 1
2 UNTERSUCHUNGSMETHODEN 5
2.1 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE. 6
2.2 OBERFLAECHENSENSITIVE ROENTGENSTREUUNG. 8
2.3 REFLEKTIVITAET UND DIFFUSE ROENTGENSTREUUNG. 12
2.3.1 STATISTISCHE BESCHREIBUNG EINER SELBSTAFFINEN RAUHEN GRENZ
FLAECHE . 15
2.3.2 DIFFUSE ROENTGENSTREUUNG VON SELBSTAFFINEN RAUHEN GRENZ
FLAECHEN . 16
2.3.3 DIFFUSE ROENTGENSTREUUNG IM GRENZFALL GROSSER RAUHIGKEIT 17
2.4 ROENTGENKLEINWINKELSTREUUNG. 19
2.5 KINEMATISCHE ROENTGENBEUGUNG. 23
2.6 ASYMPTOTISCHE BRAGG-STREUUNG . 27
2.7 ROENTGENBEUGUNG UNTER STREIFENDEM EINFALL. 29
2.8 ROENTGENSTREUUNG AN KRISTALLEN MIT DEFEKTEN. 32
2.8.1 PUNKTDEFEKTE UND DEREN VERZERRUNGSFELD. 33
2.8.2 STREUUNG AN PUNKTDEFEKTEN: BRAGGREFLEXE. 35
2.8.3 REFLEXNAHE DIFFUSE STREUUNG (HUANG-STREUUNG). 36
2.8.4 DIFFUSE STREUUNG VON DEFEKTEN IN DUENNEN SCHICHTEN . 38
2.8.5 DIFFUSE STREUUNG VON CLUSTERN. 41
3 SII
ZGEZ-SCHICHTEN 43
3.1 PROBENSYSTEM UND FRAGESTELLUNG. 45
3.2 BEUGUNG UNTER STREIFENDEM EINFALL. 46
3.3 KOPLANARE BEUGUNG. 47
3.4 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE. 49
3.5 DIFFUSE ROENTGENSTREUUNG. 51
3.5.1 LANGREICHWEITIGE LATERALE KORRELATIONEN. 52
3.5.2 KURZREICHWEITIGE LATERALE KORRELATIONEN. 58
3.6 DISKUSSION UND ZUSAMMENFASSUNG. 60
VII
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/958926662
VM
4 SIX_
XCX-EPISCHICHTEN 63
4.1 ZIELSETZUNG . 64
4.2 PROBENSERIE. 66
4.3 EXPERIMENTELLER AUFBAU . 67
4.4 MESSUNGEN UND ERGEBNISSE. 69
4.4.1 BRAGG-STREUUNG (GID). 71
4.4.2 HUANG-STREUUNG. 72
4.4.3 /3-SIC-REFLEX . . . . 77
4.5 DISKUSSION. 83
4.6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK. 84
5 GERMANIUM-INSELN AUF SI(L 11) 87
5.1 ZIELSETZUNG . 90
5.2 PROBENSERIE. 90
5.3 MORPHOLOGIE DER INSELN: RASTERKRAFTMIKROSKOPIE. 92
5.4 ROENTGENKLEINWINKELSTREUUNG . . -. 96
5.5 ROENTGENBEUGUNG UNTER STREIFENDEM EINFALL.105
5.6 'CTR'-STREUUNG.107
5.7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK.125
A ROENTGENOPTISCHE DATEN FUER SI UND GE 127
B AFM-AUFNAHMEN DER GE/SI(LLL)-SCHICHTEN 128
C SIMULATIONEN DER CTR-STREUUNG 133
LITERATURVERZEICHNIS
137 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kovats, Zoltan 1968- |
| author_GND | (DE-588)122006984 |
| author_facet | Kovats, Zoltan 1968- |
| author_role | aut |
| author_sort | Kovats, Zoltan 1968- |
| author_variant | z k zk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013057667 |
| ctrlnum | (OCoLC)247563494 (DE-599)BVBBV013057667 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013057667</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20001009</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000322s1999 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">958926662</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)247563494</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013057667</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kovats, Zoltan</subfield><subfield code="d">1968-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)122006984</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium</subfield><subfield code="c">von Zoltan Kovats</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VIII, 153 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Silicium - Heteroepitaxie</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008897019&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008897019</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013057667 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T18:12:53Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008897019 |
| oclc_num | 247563494 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-19 DE-BY-UBM DE-12 |
| owner_facet | DE-19 DE-BY-UBM DE-12 |
| physical | VIII, 153 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| record_format | marc |
| spelling | Kovats, Zoltan 1968- Verfasser (DE-588)122006984 aut Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium von Zoltan Kovats 1999 VIII, 153 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 2000 Silicium - Heteroepitaxie (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008897019&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kovats, Zoltan 1968- Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium Silicium - Heteroepitaxie |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium |
| title_auth | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium |
| title_exact_search | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium |
| title_full | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium von Zoltan Kovats |
| title_fullStr | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium von Zoltan Kovats |
| title_full_unstemmed | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium von Zoltan Kovats |
| title_short | Morphologie und Struktur heteroepitaktischer Halbleiterschichtsysteme auf Silizium |
| title_sort | morphologie und struktur heteroepitaktischer halbleiterschichtsysteme auf silizium |
| topic | Silicium - Heteroepitaxie |
| topic_facet | Silicium - Heteroepitaxie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008897019&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kovatszoltan morphologieundstrukturheteroepitaktischerhalbleiterschichtsystemeaufsilizium |