Beschichtung von Kunststoffen mit titan- und tantalhaltigen Materialien durch plasmaaktivierte chemische Gasphasenabscheidung:
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1999
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INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
1
1.1
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
1
1.2
LOESUNGSANSATZ
2
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
4
2.1
DIE
PLASMAAKTIVIERTE
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
4
2.1.1
GRUNDLAGEN
4
2.1.2
DER
PLASMAZUSTAND
8
2.1.3
ARTEN
DER
PACVD
10
2.1.4
DAS
RF-WASSERSTOFFPLASMA
12
2.1.5
OBERFLAECHEN
IM
RF-PLASMA
13
2.2
KUNSTSTOFFBESCHICHTUNG
14
2.2.1
KEIMBILDUNG
UND
SCHICHTWACHSTUM
14
2.2.2
HAFTMECHANISMUS
16
2.3
SCHICHTANFORDERUNGEN
FUER
DEN
MEDIZINISCHEN
EINSATZZWECK
18
2.3.1
DEFINITION
DER
BIOVERTRAEGLICHKEIT
18
2.3.2
BIOMATERIALIEN
IM
GEWEBEKONTAKT
19
2.3.3
BLUTKONTAKT
20
2.3.4
BIO
BZW.
KORROSIONSSTABILITAET
22
2.4
STAND
DER
TECHNIK
23
2.4.1
CVD
VON
TITANNITRID
UND
TITANCARBONITRID
23
2.4.2
CVD
VON
TANTALNITRID
24
2.4.3
CVD-VERFAHREN
IN
DER
MEDIZINTECHNIK
25
2.4.4
PROBLEMATIK
VON
KUNSTSTOFFEN
IN
DER
MEDIZINTECHNIK
UND
STAND
DER
TECHNIK
ZUR
VERBESSERUNG
DIESER
EIGENSCHAFTEN
25
3
VERSUCHSANLAGE
28
4
ANALYTIK
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DES
ABSCHEIDEVORGANGS
UND
DER
ABGESCHIEDENEN
SCHICHTEN
31
4.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
31
4.2
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
32
II
INHALTVERZEICHNIS
4.3
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
32
4.4
ELLIPSOMETRIE
34
4.5
MASSENSPEKTROSKOPIE
35
4.6
PRUEFUNG
DER
HAFTFESTIGKEIT
36
4.7
LEITFAEHIGKEITSBESTIMMUNG
37
4.8
KORROSIONSBESTAENDIGKEIT
UND
BARRIEREEIGENSCHAFTEN
38
4.9
BIOLOGISCHE
PRUEFUNG
38
4.9.1
BIOKOMPATIBILITAETSPRUEFUNG
38
4.9.2
HAEMOKOMPATIBILITAET
39
5
STOFFEIGENSCHAFTEN
41
5.1
EINGESETZTE
POLYMERE
41
5.2
EINGESETZTE
PRECURSOREN
45
5.2.1
TETRAKISDIMETHYLAMIDOTITAN
45
5.2.2
PENTAKISDIMETHYLAMIDOTANTAL
46
53
STOFFDATEN
DER
MOEGLICHEN
SCHICHTMATERIALIEN
47
5.3.1
TITANMATERIALIEN
47
5.3.2
TANTALMATERIALIEN
49
6
ABSCHEIDUNG
TITANHALTIGER
SCHICHTEN
50
6.1
UEBERBLICK
UEBER
DIE
DURCHGEFUEHRTEN
VERSUCHE
50
6.2
MASSENSPEKTROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
52
6.2.1
IDENTIFIZIERUNG
DER
IM
ABGASSTROM
ENTHALTENEN
SPEZIES
52
6.2.2
ABHAENGIGKEIT
DER
MASSENSPEKTREN
VON
DEN
ABSCHEIDEPARAMETEM
56
6.2.2.1
ZEITLICHER
VERLAUF
DER
ABGASZUSAMMENSETZUNG
57
6.2.2.2
EINFLUSS
DER
PLASMALEISTUNG
59
6.2.2.3
EINFLUSS
DES
TRAEGERGASDURCHSATZES
61
6.2.2.4
EINFLUSS
DER
PRECURSORKONZENTRATION
62
6.2.2.5
EINFLUSS
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
63
63
SCHICHTTOPOGRAPHIE
64
6.3.1
REM-UNTERSUCHUNGEN
64
6.3.1.1
PET
UND
PES
64
6.3.1.2
PPUNDPE
67
6.3.1.3
PVC
70
6.3.2
AFM-ANALYSEN
71
6.4
ZUSAMMENSETZUNG
UND
SCHICHTAUFBAU
74
INHALTVERZEICHNIS
III
6.4.1
XPS
DER
BESCHICHTETEN
PET-FOLIEN
74
6.4.1.1
LEISTUNGSABHAENGIGKEIT
78
6.4.1.2
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
82
6.4.1.3
ABHAENGIGKEIT
VON
DURCHSATZ
UND
KONZENTRATION
84
6.4.2
XPS
DER
WEITEREN
POLYMERE
84
6.4.2.1
PVCUNDPES
84
6.4.2.2
PP
UND
PE
86
6.5
HAFTFESTIGKEIT
UND
DUKTILITAET
87
6.5.1
DUKTILITAET
87
6.5.2
HAFTFESTIGKEIT
88
6.5.2.1
HAFTFESTIGKEIT
DER
TI(C,N)-SCHICHTEN
AUF
PET,
PVC
UND
PES
88
6.5.2.2
HAFTFESTIGKEIT
DER
TI(C,N)-SCHICHTEN
AUF
PP
UND
PE
90
6.5.2.3
KONZENTRATIONSBEREICHE
DER
VERSCHIEDENEN
POLYMERE
92
6.6
ABHAENGIGKEIT
DER
ABSCHEIDERATE
VON
DEN
BESCHICHTUNGS-PARAMETERN
UND
SUBSTRATMATERIALIEN
94
6.6.1
ERMITTLUNG
DES
GESCHWINDIGKEITSBESTIMMENDEN
SCHRITTS
95
6.6.1.1
ABHAENGIGKEIT
DER
ABSCHEIDERATE
VOM
PRECURSORDURCHSATZ
95
6.6.1.2
ABHAENGIGKEIT
DER
ABSCHEIDERATE
VON
DER
PRECURSORKONZENTRATION
96
6.6.1.3
ABHAENGIGKEIT
DER
ABSCHEIDERATE
VON
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
97
6.6.1.4
ABHAENGIGKEIT
DER
ABSCHEIDERATE
VON
DER
PLASMALEISTUNG
99
6.6.2
VERGLEICH
DER
ABSCHEIDERATE
AUF
DEN
VERSCHIEDENEN
POLYMEREN
100
6.7
BESCHICHTUNG
KOMPLEXER
GEOMETRIEN
100
6.7.1
BESCHICHTUNG
TEXTILER
STRUKTUREN
101
6.7.2
KONZEPT
ZUR
BESCHICHTUNG
VON
DREIDIMENSIONALEN
SUBSTRATEN
102
6.7.2.1
BESCHICHTUNG
VON
DREIDIMENSIONALEN
SUBSTRATEN
BEI
KONSTANTEM
GASSTROM
105
6.7.2.2
BESCHICHTUNG
VON
DREIDIMENSIONALEN
SUBSTRATEN
BEI
GASZUFUHR
IM
DRUCKWECHSEL
106
6.8
LEITFAEHIGKEIT
DER
ABGESCHIEDENEN
SCHICHTEN
108
6.9
KORROSIONSPRUEFUNG
110
6.10
BARRIEREEIGENSCHAFTEN
115
6.11
BIOLOGISCHE
PRUEFUNG
116
6.11.1
BIOKOMPATIBILITAETSUNTERSUCHUNGEN
116
6.11.1.1
ENDOTHELZELLEN
116
6.11.1.2
FIBROBLASTEN
120
6.11.2
HAEMOKOMPATIBILITAETSTESTS
123
IV
INHALTVERZEICHNIS
6.11.2.1
HAEMOLYSE-TEST
123
6.11.2.2
BESTIMMUNG
DER
PARTIELLEN
(PTT)
UND
DER
AKTIVIERTEN
PARTIELLEN
124
7
ABSCHEIDUNG
TANTALHAITIGER
SCHICHTEN
125
7.1
SCHICHTTOPOGRAPHIE
125
7.2
HAFTFESTIGKEIT
126
7.3
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
UND
AUFBAU
126
7.3.1
ABHAENGIGKEIT
DER
TA(C,N)-SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
VON
DEN
ABSCHEIDEPARAMETEM
130
7.3.2
ABSCHEIDERATE
UND
GESCHWINDIGKEITSBESTIMMENDER
SCHRITT
DER
TA(C,N)
BESCHICHTUNG
132
8
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
DER
VERSUCHSERGEBNISSE
133
8.1
ABSCHEIDEMECHANISMUS
DER
TI(C
N)-BESCHICHTUNG
133
8.2
SCHICHTTOPOGRAPHIE
UND
HAFTFESTIGKEIT
136
83
EIGNUNG
DER
TI(C,N)-BESCHICHTUNG
FUER
DEN
MEDIZINISCHEN
EINSATZ
138
8.4
BESCHICHTUNG
MIT
TA(C,N)-SCHICHTEN
140
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
142
10
LITERATURVERZEICHNIS
144
11
SYMBOLVERZEICHNIS
150
12
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
152
ANHANG
153
AL
MASSENSPEKTROMETER:
REFERENZ-SPEKTREN
[76]
153
A2
BERECHNUNGEN
157
BELADUNGEN
UND
MASSENSTROEME:
157
REYNOLDSZAHL
158
VERWEILZEIT
159 |
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| spelling | Breme, Frank 1969- Verfasser (DE-588)121994465 aut Beschichtung von Kunststoffen mit titan- und tantalhaltigen Materialien durch plasmaaktivierte chemische Gasphasenabscheidung von Frank Breme 1999 IV, 159 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 Kunststoffimplantat - PECVD-Verfahren - Titancarbonitrid - Kunststoff-Metall-Verbund - Biokompatibilität Titancarbonitrid (DE-588)4222057-9 gnd rswk-swf Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Kunststoff (DE-588)4033676-1 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Tantalcarbonitrid gnd rswk-swf Kunststoff (DE-588)4033676-1 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s Titancarbonitrid (DE-588)4222057-9 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s DE-604 Tantalcarbonitrid f DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008895129&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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