Nanostrukturierung mit dem Rasterkraftmikroskop: vom zweidimensionalen Elektronengas zum Einzelelektronentransistor
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Logos-Verl.
2000
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| Beschreibung: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2000 |
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INHALTSVERZEICHNIS
ABSTRACT
5
EINLEITUNG
9
1
NIEDERDIMENSIONALE
ELEKTRONENSYSTEME
13
1.1
FREIE
ELEKTRONEN:
VON
3D
BIS
ID
.
13
1.2
TUNNELBARRIEREN
.
17
1.2.1
STROM-SPANNUNGS-KENNLINIEN
.
21
1.2.2
THERMISCH
AKTIVIERTER
TRANSPORT
.
24
1.2.3
MESSUNG
DES
HEBELFAKTORS
.
26
1.3
RESONANTE
TUNNELDIODE
.
29
1.4
EINZELELEKTRONENTRANSISTOR
.
34
2
PROBENSTRUKTUR
41
2.1
HETEROSTRUKTUREN
.
41
2.2
HALLSTRUKTUREN
.
44
3
MESSAUFBAU
47
3.1
DAS
RASTERKRAFTMIKROSKOP
.
47
3.1.1
DER
MESSKOPF
.
47
3.1.2
DIE
SPITZEN
.
49
3.2
TIEFE
TEMPERATUREN
.
52
3.2.1
KANNENMESSPLAETZE
.
52
3.2.2
4
HE-SYSTEM
.
52
3.2.3
3
HE-SYSTEM
.
52
3.3
HOHE
MAGNETFELDER
.
53
3.4
TRANSPORTMESSUNGEN
.
53
4
STRUKTURIERUNG
MIT
DEM
RASTERKRAFTMIKROSKOP
57
4.1
MECHANISCHE
STRUKTURIERUNG
.
57
4.1.1
BESTIMMUNG
DER
RASTERKRAEFTE
.
58
4.1.2
GEREGELTE
MECHANISCHE
STRUKTURIERUNG
.
60
4.1.3
KONTROLLIERTE
MECHANISCHE
STRUKTURIERUNG
.
63
4.2
LOKALE
ANODISCHE
OXIDATION
.
70
8
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1
MECHANISMUS
.
71
4.2.2
DURCHFUEHRUNG
.
73
4.2.3
LOKALE
ANODISCHE
OXIDATION
AN
SILIZIUM
.
75
4.2.4
LOKALE
ANODISCHE
OXIDATION
AN
GAAS/ALGAI-^
AS
HETEROSTRUKTUREN
.
77
4.3
SPITZENABNUTZUNG
.
83
5
CHARAKTERISIERUNG
DER
BARRIEREN
87
5.1
MECHANISCH
HERGESTELLTE
BARRIEREN
.
88
5.1.1
STROM-SPANNUNGS-KENNLINIEN
.
88
5.1.2
THERMISCH
AKTIVIERTER
TRANSPORT
.
93
5.1.3
BANDSTRUKTURRECHNUNGEN
.
99
5.2
OXIDIERTE
BARRIEREN
.
104
5.2.1
STROM-SPANNUNGS-KENNLINIEN
.
104
5.2.2
THERMISCH
AKTIVIERTER
TRANSPORT
.
105
5.2.3
BANDSTRUKTURRECHNUNGEN
.
108
5.3
VERGLEICH
DER
STRUKTURIERUNGSERGEBNISSE
.
111
6
HERSTELLUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
MESOSKOPISCHER
BAUTEILE
115
6.1
MECHANISCH
HERGESTELLTER
IN-PLANE-GATE-TRANSISTOR
.
115
6.2
MECHANISCH
HERGESTELLTER
EINZELELEKTRONENTRANSISTOR
.
121
6.3
EINZELELEKTRONENTRANSISTOR
MIT
OXIDIERTEN
BARRIEREN
.
129
6.4
RESONANTE
TUNNELDIODE
MIT
OXIDIERTEN
BARRIEREN
.
136
7
ZUSAMMENFASSUNG
143
LITERATURVERZEICHNIS
147
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
155
TABELLENVERZEICHNIS
159
SYMBOLVERZEICHNIS
161
DANKSAGUNG
165
LEBENSLAUF
167 |
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