Quantitative Elementanalytik an Diamantschichten mittels elastischer Vorwärtsstreuung (ERD) hochenergetischer schwerer Ionen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
|
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| Beschreibung: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | VI, 102 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
III
1
EINLEITUNG
1
1.1
ELEMENTANALYTIK
MITTELS
ELASTIC
RECOIL
DETECTION
(ERD)
.
2
1.2
ERD
MIT
HOCHENERGETISCHEN
SCHWEREN
IONEN
.
3
1.3
DIAMANT
.
4
1.4
ZIEL
DER
ARBEIT
.
5
2
AUFBAU
DES
ERD-EXPERIMENTES
7
2.1
ANWENDUNGSBEREICH
DER
ERD
MIT
SCHWERIONEN
.
7
2.2
QUANTITATIVE
ANALYSE
DER
ERD-MESSUNGEN
.
10
2.3
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
AM
Q3D-MAGNETSPEKTROGRAPHEN
.
13
3
WEITERENTWICKLUNG
DER
METHODE
17
3.1
OPTIMIERUNG
DER
SENSITIVITAET
IN
ERD-ANALYSEN
AM
Q3D-MAGNETSPEK
TROGRAPHEN
.
17
3.2
NEUENTWICKLUNG
EINES
AE
E
HEST
-DETEKTORTELESKOPES
.
19
3.2.1
DETEKTORDESIGN
.
21
3.2.2
AUFBAU
.
22
3.2.3
ENERGIEAUFLOESUNG
.
24
3.2.4
SENSITIVITAET
.
27
3.3
ENERGIEVERHISTMESSUNGEN
.
31
4
ORIENTIERTES
WACHSTUM
VON
DIAMANT
AUF
SILIZIUM
37
4.1
SII_
X
C
X
-SCHICHTEN
ZUR
VERBESSERUNG
DER
ORIENTIERTEN
NUKLEATION
VON
DIA
MANT
.
38
4.2
WACHSTUM
UND
ATZPROZESSE
IN
DER
ERSTEN
PHASE
DES
DIAMANTWACHSTUMS
44
4.3
SAUERSTOFF
AN
DER
GRENZFLAECHE
SILIZIUM-DIAMANT
.
52
4.3.1
THERMISCHES
SILIZIUMDIOXID
AUF
SILIZIUM
.
52
VI
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.2
SAUERSTOFF
AN
DER
GRENZFLAECHE
DUENNER
DIAMANTSCHICHTEN
AUF
SILI
ZIUM
UNTER
VERWENDUNG
VON
CO
2
WAEHREND
DES
ORIENTIERTEN
WACHS
TUMS
.
52
4.3.3
SAUERSTOFF AN
DER
GRENZFLAECHE
DUENNER
DIAMANTSCHICHTEN
AUF
SILI
ZIUM
OHNE
BEIGABE
VON
CO
2
WAEHREND
BEKEIMUNG
UND
WACHSTUM
54
4.3.4
ZUGABE
VON
SAUERSTOFF
WAEHREND
DER
BEKEIMUNG
.
56
4.3.5
BEIMISCHUNG
VON
HOCHANGEREICHERTEM
C
18
O
2
.
56
4.3.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
60
5
DOTIERUNG
UND
VERUNREINIGUNGEN
61
5.1
STICKSTOFF
.
61
5.1.1
PROBENPRAEPARATION
.
62
5.1.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
62
5.1.3
PROBENHERSTELLUNG
MIT
GERINGEREN
STICKSTOFFZUGABEN
.
66
5.1.4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
67
5.2
BOR
.
72
5.2.1
FELDEFFEKTTRANSISTOREN
(FETS)
.
72
5.2.2
PROBENPRAEPARATION
.
73
5.2.3
ERGEBNISSE
.
74
6
WASSERSTOFF
AUF
DIAMANTOBERFLAECHEN
77
6.1
OBERFLAECHENLEITFAEHIGKEIT
UND
DIAMANT-FETS
.
77
6.2
PROBLEME
BEI
ERD-OBERFLAECHENANALYSEN
.
79
6.3
PROBENPRAEPARATION
.
80
6.4
RESULTATE
UND
DISKUSSION
.
81
7
AUSBLICK
85
LITERATURVERZEICHNIS
87
A
PUBLIKATIONSLISTE
95
B
DANKSAGUNG
101 |
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