Laserdeposition von HTSL-Filmen auf Langsubstraten und der Einfluß mechanischer Spannungen:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
1999
|
Ausgabe: | 1. Aufl. |
Schlagworte: | |
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Beschreibung: | Zugl.: Göttingen, Univ., Diss., 1999 |
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INHALT
1
EINLEITUNG
.
1
2
PROBENHERSTELLUNG
.4
2.1
YBCO-AUSGANGSMATERIAL
.
4
2.2
SUBSTRATE
.
5
2.2.1
SUBSTRATAUSWAHL
.
6
2.2.2
SUBSTRATPOLITUR
.
8
2.2.3
ZWISCHENSCHICHT
.
12
2.3
GRUNDLAGEN
DER
LASERDEPOSITION
.
13
2.4
LASERDEPOSITIONSSYSTEME
.
15
2.4.1
QUASI-GLEICHGEWICHTSHEIZUNG
.15
2.4.2
TARGETABRASTERUNG
(VAA)
.
16
2.4.3
AUFBAU
UND
PARAMETER
FUER
ANLAGE
1
.
22
2.4.4
ENTWICKLUNG,
AUFBAU
UND
PARAMETER
FUER
ANLAGE
2
.
24
3
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
27
3.1
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
27
3.1.1
BRAGG-BRENTANO-GEOMETRIE
UND
ROCLDNGKURVEN
.
27
3.1.2
VIER-KREIS
DIFFRAKTOMETRIE
.
28
3.2
MIKROSKOPIE
.
29
3.2.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
29
3.2.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
29
3.3
RAUHIGKEITS
UND
SCHICHTDICKENMESSUNG
.
30
3.4
MAGNETOOPTIK
.
31
4
MESSUNG
DER
SUPRALEITENDEN
EIGENSCHAFTEN
DER
FILME
.32
4.1
RESISTIVE
MESSMETHODEN
.
32
4.2
INDUKTIVE
MESSMETHODEN
.
34
5
YBCO-FILME
AUF
TECHNISCHEN
SUBSTRATEN
.
38
5.1
BEDEUTUNG
DER
FUNKTIONSZWISCHENSCHICHT
.
38
5.2
OXIDATION
DES
SUBSTRATS
.
39
5.3
NUKLEATIONSSCHICHT
.
45
5.3.1
MIKROSTRUKTURUNTERSUCHUNGEN
.
47
5.3.2
MODELL
ZUR
WACHSTUMSSELEKTION
.
49
5.3.3
DICKENABHAENGIGKEIT
DER
KRITISCHEN
STROMDICHTE
.
51
5.4
TEXTUR
UND
MIKROSTRUKTURUNTERSUCHUNG
.
53
5.4.1
TEXTUR
UND
MIKROSTRUKTUR
PARALLEL
ZUR
FILMNORMALEN
.
53
5.4.2
TEXTUR
UND
MIKROSTRUKTUR
IN
DER
FILMEBENE
.
55
5.4.3
MIKROSTRUKTUR
UND
GRENZFLAECHEN
DER
KOERNER
.
58
5.5
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE
.
59
5.6
WACHSTUM
BEI
LANGSUBSTRATEN
.
60
5.6.1
EINFLUSS
DER
GEOMETRIE
DER
PLASMAWOLKE
BEI
DER
LASERDEPOSITION
.
61
5.6.2
EINFLUSS
DES
TEMPERATURGRADIENTEN
.
64
5.6.3
SAUERSTOFFBELADUNG
.
65
5.7
SUPRALEITENDE
EIGENSCHAFTEN
.
66
5.7.1
YBCO-FILME
AUF
TECHNISCHEN
SUBSTRATEN
.
67
5.7.2
UEBERGANG
AUF
LANGE
TECHNISCHE
SUBSTRATE
.
72
5.7.3
EXPERIMENTE
BEI
UNTERSCHIEDLICHEN
UMGEBUNGSBEDINGUNGEN
.
76
6
EINFLUSS
MECHANISCHER
SPANNUNGEN
.
79
6.1
SPANNUNGEN
IN
DUENNFILMEN
.
79
6.1.1
EINKRISTALLINE
SUBSTRATE
.
80
6.1.2
TECHNISCHE
SUBSTRATE
.
80
6.2
BIEGEAPPARATUREN
UND
BIEGEMESSUNGEN
.
83
6.3
VERHALTEN
UNTER
ZUGSPANNUNG
.
85
6.4
VERHALTEN
UNTER
DRUCKSPANNUNG
.
91
6.5
TRANSPORTSTROM
UNTER
FILMVERFORMUNG
.
97
7
AUSBLICK
UND
TECHNISCHE
ANWENDUNGEN
.
100
8
ZUSAMMENFASSUNG
.
102
9
LITERATURVERZEICHNIS
.
105 |
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