Flüssigkeitssensoren auf der Basis mikroakustischer Wellenleitermoden:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik
4 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | X, 165 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826569725 |
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INHALT
VII
INHALT
SEITE
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
4
2.1.
DEHNUNG
UND
SPANNUNG
.
4
2.2.
DIE
PIEZOELEKTRIZITAET
.
5
2.3.
AKUSTISCHE
WELLEN
IN
ISOTROPEN
FESTKOERPERN
.
7
2.3.1.
VOLUMENWELLEN
.
7
2.3.2.
OBETFLAECHENWELLEN
.
7
2.4.
SCHERWELLEN
IN
ANISOTROPEN
MEDIEN
.
9
2.5.
DIE
ANREGUNG
VON
OBERFLAECHENWELLEN
.
10
3.
MIKROAKUSTISCHE
FLUESSIGKEITSSENSOREN
.
13
3.1.
KLASSIFIZIERUNG
.
13
3.2.
SENSORTYPEN
.
14
3.2.1.
DIE
QUARZMIKROWAAGE
.
14
3.2.2.
DER
LAMB-WELLEN-SENSOR
.
16
3.2.3.
SENSOREN
MIT
OBERFLAECHENSCHETWELLEN
.
17
3.2.4.
DER
PLATTENSCHERWELLEN-SENSOR
.
18
3.2.5.
DER
OBERFLAECHENTRANSVERSALWELLEN-SENSOR
.
19
3.2.6.
DER
LOVE-WELLEN-SENSOR
.
20
3.2.7.
SENSOREN
MIT
REFLEKTIERTEN
RAYLEIGH-WELLEN
.
21
3.3.
BEWERTUNG
.
22
4.
EIGENSCHAFTEN
VON
LOVE-MODEN
.
24
4.1.
LOVE-MODEN
IN
ISOTROPEN
SCHICHTSYSTEMEN
.
24
4.2.
LOVE-MODEN
IN
PIEZOELEKTRISCHEN
KRISTALLEN
.
27
4.3.
WECHSELWIRKUNGSMECHANISMEN
.
28
4.3.1.
MECHANISCHE
WECHSELWIRKUNGEN
.
28
4.3.2.
ELEKTRISCHE
WECHSELWIRKUNGEN
.
31
4.3.3.
TEMPERATUREINFLUSS
.
32
VNI
INHALT
5.
MATERIALAUSWAHL
.
34
5.1.
SUBSTRAT
.
34
5.1.1.
QUARZ
.
35
5.1.2.
LITHIUMTANTALAT
.
36
5.1.3.
SONSTIGE
EINKRISTALLE
.
37
5.1.4.
KERAMISCHE
WERKSTOFFE
.
38
5.2.
WANDLERMETALLISIERUNG
.
39
5.2.1.
ALUMINIUM
.
40
5.2.2.
CHROM
UND
TITAN
.
40
5.2.3.
PLATIN
.
40
5.3.
WELLENLEITERSCHICHT
.
41
5.3.1.
SILIZIUMDIOXYD
.
41
5.3.2.
POLYMERE
.
42
6.
BAUTEILENTWURF.
.
45
6.1.
DAS
WANDLERERSATZSCHALTBILD
.
45
6.2.
MIKROAKUSTISCHE
GRUNDSTRUKTUREN
.
47
6.3.
DIE
IMPEDANZANPASSUNG
.
49
6.4.
STOEREFFEKTE
.
51
6.4.1.
DER
LEITERBAHNWIDERSTAND
.
51
6.4.2.
DIE
NATUERLICHE
RICHTWIRKUNG
.
51
6.4.3.
DAS
DREIFACHDURCHLAUFECHO
.
52
6.4.4.
REFLEXIONEN
AN
DISKONTINUITAETEN
.
53
6.4.5.
BEUGUNGSEFFEKTE
.
54
6.4.6.
DAS
ELEKTROMAGNETISCHE
UEBERSPRECHEN
.
55
6.4.7.
VOLUMENWELLENINTERFERENZEN
.
55
6.4.8.
DIE
PYROELEKTRIZITAET
DES
LITHIUMTANTALATS
.
57
6.5.
DER
MULTISTRIPKOPPLER
.
57
6.6.
AUSGEWAEHLTE
SENSORTYPEN
.
58
7.
MESSMETHODIK
UND
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
60
7.1.
DIE
OSZILLATORSCHALTUNG
.
60
7.1.1.
FUNKTIONSWEISE
.
60
7.1.2.
DIE
OSZILLATORGUETE
.
61
7.2.
NETZWERKANALYSATORMESSUNGEN
.
61
7.3.
BAUTEILCHARAKTERISIERUNG
.
62
7.3.1.
PHASEN
UND
GRUPPENGESCHWINDIGKEIT
.
62
7.3.2.
KOPPELFAKTOR
UND
EFFEKTIVE
PERMITTIVITAET
.
63
7.3.3.
AUSBREITUNGSDAEMPFUNG
.
64
7.3.4.
TEMPERATURGANG
.
64
7.3.5.
STABILITAET
.
65
INHALT
IX
7.4.
MESSUNGEN MIT
FLUESSIGKEITEN
.
65
7.4.1.
VETSUCHSAUFBAU
.
65
7.4.2.
TESTFLUESSIGKEITEN
.
66
8.
HERSTELLUNGSTECHNOLOGIE
.
68
8.1.
INTERDIGITALWANDLER
.
70
8.1.1.
SCHICHTERZEUGUNG
.
70
8.1.2.
PHOTOLITHOGRAPHIE
.
70
8.1.3.
AETZEN
UND
STRIPPEN
.
70
8.1.4.
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
71
8.2.
SIO
2
-WELLENLEITER
.
74
8.2.1.
SCHICHTERZEUGUNG
.
74
8.2.2.
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
75
8.3.
FLUESSIGKEITSFALLEN
.
84
8.3.1.
AETZMASKE
.
84
8.3.2.
AETZPROZESSE
.
85
8.4.
BONDLOECHER
.
88
8.4.1.
AETZMASKE
.
88
8.4.2.
AETZPROZESSE
.
88
8.5.
POLYMERWELLENLEITER
.
89
8.5.1.
SCHICHTERZEUGUNG
UND
BONDLOECHER
.
89
8.5.2.
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
90
8.6.
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIK
.
92
9.
AKUSTISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
MATERIALSYSTEME
.
93
9.1.
QUARZ
MIT
SIO
2
-WELLENLEITERN
.
93
9.1.1.
PHASEN
UND
GRUPPENGESCHWINDIGKEIT
.
93
9.1.2.
KOPPELFAKTOR
UND
EFFEKTIVE
PERMITTIVITAET
.
95
9.1.3.
TEMPERATURKOMPENSATION
.
97
9.2.
LITHIUMTANTALAT
MIT
SIO
2
-WELLENLEITERN
.
100
9.2.1.
PHASEN
UND
GRUPPENGESCHWINDIGKEIT
.
100
9.2.2.
KOPPELFAKTOR
UND
EFFEKTIVE
PERMITTIVITAET
.
100
9.2.3.
TEMPERATURKOMPENSATION
.
102
9.3.
QUARZ
MIT
POLYMERWELLENLEITEM
.
103
9.3.1.
PHASEN
UND
GRUPPENGESCHWINDIGKEIT
.
103
9.3.2.
KOPPELFAKTOR
UND
EFFEKTIVE
PERMITTIVITAET
.
104
9.3.3.
TEMPERATURKOMPENSATION
.
105
10.
SENSOREIGENSCHAFTEN
.
109
10.1.
VISKOSE
WECHSELWIRKUNGEN
.
109
10.1.1.
QUARZ
MIT
SIO
2
-WELLENLEITEM
.
109
10.1.2.
LITHIUMTANTALAT
MIT
SIO
2
-WELLENLEITEM
.
113
10.1.3.
QUARZ
MIT
POLYMERWELLENLEITEM
.
116
X
INHALT
10.2.
DIE
TRENNUNG
VON
DICHTE
UND
VISKOSITAET
.
118
10.2.1.
LOVE-WELLEN-SENSOTEN
MIT
FLUESSIGKEITSFALLEN
.
118
10.2.2.
FREQUENZAENDERUNG
.
120
10.2.3.
DAEMPFUNGSAENDERUNG
.123
10.2.4.
NANOTRAPPING
.
125
10.2.5.
TEMPERATUTGANG
.127
10.3.
ELEKTRISCHE
WECHSELWIRKUNGEN
.
127
10.3.1.
LITHIUMTANTALAT
MIT
SICH-WELLENLEITERN
.
128
10.3.2.
QUARZ
MIT
SIOZ-WELLENLEITERN
.
131
10.4.
VERGLEICH
DER
SENSORTYPEN
.133
11.
EINSATZMOEGLICHKEITEN
IN
DER
KFZ-SENSORIK
.
134
11.1.
DIE
UEBERWACHUNG
VON
MOTOROELEN
.
135
11.2.
DIE
ERKENNUNG
VON
DIESELSORTEN
.
138
11.3.
MISCHKRAFTSTOFF-SENSOREN
.
139
11.4.
DIE
UEBERWACHUNG
VON
BREMSFLUESSIGKEITEN
.
141
11.5.
DIE
UEBERWACHUNG
DES
BATTERIE-LADEZUSTANDES
.
141
12.
ZUSAMMENFASSUNG
.
143
13.
LITERATUR
.
146
14.
ANHANG
.
156
14.1.
FOTMELZEICHEN
UND
KONSTANTEN
.
156
14.2.
MATERIALEIGENSCHAFTEN
.
158
14.3.
SENSORTYPEN
.
160
14.4.
HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN
.
160
NACHWORT
.
165 |
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