Entwicklung hochohmiger Dickschicht-Widerstandspasten für mikroelektronische Hybridschaltungen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1999
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1999 |
| Beschreibung: | II, 129 S. Ill., graph. Darst. 30 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG.1
1.1 MIKROELEKTRONISCHE SCHALTUNGEN UND DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.1
1.2 PROBLEMSTELLUNG.2
1.3 ZIELSETZUNG.3
2 GRUNDLAGEN DER DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.5
2.1 MATERIALIEN.5
2.1.1 LEITFAEHIGE MATERIALIEN.6
2.1.2 GLAESER FUER DIE WIDERSTAENDE.7
2.1.3 FUNKTION DER ZUSAETZE. 8
2.1.4 ORGANISCHES BINDEMITTEL SIEBDRUCKOEL.8
2.2 DER HERSTELLUNGSPROZESS VON DICKSCHICHT-WIDERSTANDSPASTEN.9
2.2.1 DER EINFLUSS DER PARTIKELGROESSE AUF DEN WIDERSTANDSWERT.9
2.2.2 MISCHEN UND PASTENRHEOLOGIE.9
2.3 SIEBDRUCK UND TROCKENVORGANG.11
2.3.1 SIEBDRUCKPROZESS.
11
2.3.2 EINFLUSS DER SIEBDRUCKPARAMETER.12
2.4 DER BRENNPROZESS.13
2.5 DIE AUSBILDUNG DER MIKROSTRUKTUR UND DES LEITUNGSMECHANISMUS.15
2.5.1 MIKROSTRUKTURENTWICKLUNG.15
2.5.2 EINFLUSS DER MENGEN- UND KOMGROESSENVERHAELTNISSE VON LEITFAEHIGEM
MATERIAL ZU GLAS
AUF DIE LEITFAEHIGKEIT UND DIE MIKROSTRUKTUR DER
DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.18
2.5.3 DER LEITUNGSMECHANISMUS.24
2.5.4 ZUSAMMENFASSUNG.31
2.6 ELEKTRISCHE KENNGROESSEN.32
2.6.1 FLAECHENWIDERSTAND.32
2.6.2 TEMPERATURKOEFFIZIENT.33
2.6.3 SPANNUNGSABHAENGIGKEIT.34
3 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG UND EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE.35
3.1 MATERIALAUSWAHL FUER HOCHOHMIGE DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.35
3.1.1 LEITFAEHIGE MATERIALIEN FUER HOCHOHMIGE DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.35
3.2 GLAS FUER HOCHOHMIGE DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.
45
3.2.1 HERSTELLUNG VON GLAESERN.
4^
3.2.2 AUSWAHL DES GLASES.^6
3.2.3 30PBO-55SIO
2-14CAO-L A1203 ( MOL. %)-GLAS.51
3.2.4 ZUSAETZE IM 30PBO-55SIO
2-14CAO-LAL2O3 (MOL. %)-GLAS.53
I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3.3 HERSTELLUNG VON DICKSCHICHT-WIDERSTANDSPASTEN.55
3.3.1 MAHL- UND TROCKENPROZESS DES GLASES.55
3.3.2 MISCHPROZESS VON GLAS, LEITFAEHIGEM MATERIAL UND SIEBDRUCKOEL.57
3.4 SIEBDRUCKBEDINGUNG UND TESTLAYOUT.58
3.5 MESSGERAETE UND MESSMETHODE.60
3.6 MESSERGEBNISSE DER WIDERSTAENDE.61
3.6.1 ABHAENGIGKEIT DER WIDERSTAENDE VOM ANTEIL DER LEITFAEHIGEN
MATERIALIEN IM BASISGLAS.61
3.6.2 EINFLUSS DER ZUSAETZE IM GLAS FUER DIE WIDERSTAENDE AUF DEN
WIDERSTANDSWERT DES
WIDERSTANDSBAUELEMENTS.64
3.7 ABHAENGIGKEIT DER WIDERSTANDSWERTE VOM EINBRENNVORGANG.69
3.8 DIE ABHAENGIGKEIT DES WIDERSTANDS VON DER SPANNUNG.71
3.9 ZUSAMMENFASSUNG DER VERSUCHSERGEBNISSE.73
3.10 CHARAKTERISIERUNG DER MIKROSTRUKTUR UND ELEMENTANALYSE MITTELS SEM,
ESMS, TEM.73
3.10.1 SEM-AUFNAHME.73
3.10.2 ELEMENTANALYSE.76
3.10.3 TEM AUFNAME UND ANALYSE.78
4 DISKUSSION.83
4.1 EINFLUSS DER ZUSAETZE AUF DIE EIGENSCHAFTEN DES GLASES.83
4.2 EINFLUSS DER ZUSAETZE AUF DIE EIGENSCHAFTEN VON
DICKSCHICHT-WIDERSTAENDEN UND IHRE
MIKROSTRUKTUR.85
4.3 BLEIRUTHENAT FUER HOCHOHMIGE DICKSCHICHT-WIDERSTAENDE.91
4.4 BESCHREIBUNG DES ZUSAMMENHANGS ZWISCHEN WIDERSTAND, ANTEIL
LEITFAEHIGEN MATERIALS
UND MIKROSTRUKTUR.93
4.5 EINFLUSS DER IN DEN GLAESERN FUER DIE WIDERSTANDSPASTEN VERWENDETEN
ZUSAETZE AUF DAS
FLAECHENWIDERSTANDS-TEMPERATUR-VERHALTEN.97
4.6 BESCHREIBUNG DER ABHAENGIGKEIT DES TKR VOM ANTEIL DES LEITFAEHIGEN
MATERIALS UND DER
MIKROSTRUKTUR.100
5 UEBERBLICK.105
ABBILDUNGSVERZEICHNIS.109
LITERATURVERZEICHNIS.113
ANHANG
125 |
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