Fachtagung Mikrosystemtechnik Chemnitz. (1999). 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik: Mikrosystemtechnik ; Chemnitz '99 11./12. Oktober 1999. Techn. Univ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fachtagung Mikrosystemtechnik Chemnitz. 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik: Mikrosystemtechnik ; Chemnitz '99 11./12. Oktober 1999. Chemnitz: Techn. Univ, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Fachtagung Mikrosystemtechnik Chemnitz. 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik: Mikrosystemtechnik ; Chemnitz '99 11./12. Oktober 1999. Techn. Univ, 1999.
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