4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik: Mikrosystemtechnik ; Chemnitz '99 11./12. Oktober 1999
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Chemnitz
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Session 1 - Applikationen, Komponenten
Leitung: R. Hagelauer, P. -C. Eccardt
1-1 Mikromechanischer Durchflußsensor für kleinste Flußraten 1
Joswig, J.1; Seifert, S.1 ;
Urban, G.2
Förderverein Institut für Medizintechnik Dresden e.V.;
2 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
1-2 Abstimmbare
resonante
Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk -Mikromechanik 5
Wibbeler, J.; Steiniger, C; Wolf, K.; Symanzik, H.; Mehner, J.; Dötzel, W.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
1-3 Mikrospaltzeilen als
Spatial
Light Modulators 11
Seifert,
T.;
Riesenberg, R.
Institut für Physikalische Hochtechnologie Jena
1-4 Infrarot-Szenen-Projektion mit räumlichen Lichtmodulatoren 15
Schubert, M.; Riesenberg, R.
Institut für Physikalische Hochtechnologie Jena
1-5 Temperaturregelung an Mikrokanalkühlem am Beispiel von Hochleistungsdiodenlasern 19
Unger,
К.1;
Lorenzen,
D.2
; Müller
D.1;
Daiminger, F.2
1 TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik;
2 Jenoptik Laserdiode GmbH Jena
1-6 Entwicklung von
Mikrosystemen
zur Durchführung von Experimenten an beladenen 28
Molekularsieb-Einzelkristallen
Lossau, O.; Klotzbücher,
T.;
Limburg,
В.;
Bauer, H.-D.; Michel, F.; Ehrfeld, W.
Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
1-7 Mikromechanischer Positionssensor 33
Ahi, E.;
Manthey,
W.;
Wolf,
К.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Session 2 - Entwurf, Simulation, Modellierung
Leitung: P. Schwarz
2-1
FEM
-basierte Generierung von Verhaltensmodellen 39
Haase, J.; Reitz, S.; Schwarz, P.
Fraunhofer
ПЅ/ЕАЅ
Dresden
2-2 Untersuchungen zur
inversen
Dynamik von elektr
оте
chanischen Systemen am 45
Beispiel eines ID-Mikr
ospie
gels
Enge,
О.;
Maißer,
P.;
Jungnickel,
U.;
Kielau,
G.
Institut für Mechatronik e.V. an der TU Chemnitz
2-3 Empfindlichkeits- und Rauschanlyse eines kapazitiven Mikrofons in BICMOS-Technologie 51
Füldner, M.1; Dehe, A.1; Aigner, R.1;
Bever,
T.2;
Lerch,
R.3; Kaltenbacher, M.3
1 Infineon Technologies,
Corporate
Research, München;
2 Infineon Technologies, GaAs & Sensors, München;
3 Universität Erlangen/Nürnberg
II
2-4
Improved Micromachined Transducer design for minimized generation of
55
lamb waves and harmonic distortion based on new methods of modeling
Eccardt, P.-C.1;
Niederer,
К.12;
Meixner,
H.1; Lerch, R.2
1
Siemens
AG, ZT KM2;
2 Johannes
Kepler
Universität Linz
Session 3 - Meßtechnik
Leitung: H.-R. Tränkler
3-1 Laseroptische Deformationsuntersuchungen an mikromechanisch realisierten 61
Ultraschallwandler
-Arrays
Daßler, H.; Manthey, W.; Thieme, L.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Mormationstechnik
3-2
Noise Characterization of CMOS Hall Sensors
65
Hohe,
H.-P.;
Weber, N.; Seitzer, D.
Fraunhofer
ПЅ-А
Erlangen
3-3 Experimentelle Charakterisierung von Mikrospiegelarrays 69
Kurth, S.1; Faust, W.2; Kehr, K.1; Hahn, R.1; Kaufmann, C.1; Michel, B.2; Dötzel, W.1
1 TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik;
2 Fraunhofer IZM Berlin und Chemnitz
3-4 Elektronische Auslesung von mikromechanischen Schwingstrukturen in 77
SCREAM
Technologie
Symanzik, H.-G.; Schlegel,
С
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Session 4 - Werkstoffe
Leitung: B. Michel
4-1 Einige Zuverlässigkeitsaspekte moderner Mikrosysteme 81
Großer,
V.1;
Michel, B.!; Reichl, H.1; Schünemann, M.2
1 Fraunhofer IZM Berlin und Chemnitz;
2 Fraunhofer
IPA
Stuttgart
4-2 Mikrostrukturierte Glasbauteile — Herstellung und Anwendung 88
Kučera, U.;
Schmidt,
J.;
Harnisch,
Α.;
Sträube,
В.;
Hülsenberg,
D.;
Kallenbach,
E.;
Feindt,
K.; Zöppig,
V.
TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau
4-3 Biokompatibilität der Funktionswerkstoffe Glas und
Silicium
93
Uhlemann, J.; Freyer, R.; Kühnel,
T.;
Streller, U.; Töpfer, E.
TU Dresden, Fakultät für Elektrotechnik, Inst. f. Biomedizinische Technik
4-4 Erhöhung der Zuverlässigkeit von
Mikro system-Komponenten
durch einen 101
optimalen Werkstoffeinsatz
Michel,
В.;
Faust,
W.; Dudek,
R.
Fraunhofer IZM Berlin und Chemnitz
4-5 Anwendung der plastischen Verformung zur Gestaltung von
Si
-
Mikrostrukturelementen
104
und deren Eigenschaften
Gärtner, E.; Frühauf, J.; Jänsch, E.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
III
Session 5 - Technologie
Leitung: T. Geßner
5-1 CMOS-kompatible Herstellung miniaturisierter Silicium-Vibrationssensoren für die 110
Messung im Bereich hoher Beschleunigungsamplituden zur Werkzeugüberwachung
Thomas, J.1; Schnupp, R.1; Ryssel, H.1·2
Fraunhofer IIS Erlangen, Bereich Bauelementetechnologie;
2 Universität Erlangen/Nürnberg
5-2 Kapazitiver Drehratesensor auf der Basis einer Stimmgabel mit gekoppelten Resonatoren 114
Wiemer, M.1; Hiller, K.2; Billep, D.2; Geßner, T.2; Ryrko, B.3;
Breng,
U.3;
Zimmermann,
S.3;
Gutmann,
W.3
Fraunhofer IZM Chemnitz
2 TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik;
3 LITEF GmbH Freiburg;
5-3 Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von 123
Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Hiller, K.2; Wiemer, M.1; Hahn, R.2; Kaufmann, C.2; Kurth, S.2; Kehr, K.2;
Geßner, T.2; Dötzel, W.2
1 Fraunhofer IZM Chemnitz;
2 TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
5-4 Rapid
Prototyping
in der Mikrosystemtechnik 132
Hanemann,
T.;
Pfleging, W.
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Materialforschung
Posterbeiträge
Pl Entwicklung flexibler Mikroroboter zur Handhabung von
Mikroobjekten
138
Fatikow, S.; Seyfried, J.; Fahlbusch, S.; Bürkle,
Α.;
Schmoeckel, F.
Universität Karlsruhe, Fakultät für Informatik
P2 Einrichtung für die thermische Belastung zur lokalen Materialkennwertermittlung 144
an
Mikrokomponenten
Dost, M.1; Vogel, J.1; Großer,
V.2;
Döring, R.1; Seiler, B.1; Sommer, J.-P.1 2; Michel, B.2
1 Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH;
2 Fraunhofer IZM Berlin und Chemnitz
P3 Verbesserte Leistungsmerkmale bei der Brandfrüherkennung durch Gassensorik 150
mit lernfähiger Signalverarbeitung
Derbel, F.; Tränkler, H.-R.
Universität der Bundeswehr München, Institut für Meß- und Automatisierungstechnik ET8
P4 Parameterextraktion für Mikrosysteme am Beispiel eines Gyroskopes 156
Voigt,
P.;
Sattler, R.; Sasse,
P.1; Hoffmann, S.1;
Noé,
R.1; Wachutka, G.
TU München, Lehrstuhl für Technische Elektrophysik;
1 Universität Paderborn, Optische Nachrichtentechnik und HF-Technik
P5 Mikrostrukturierung metallischer Bauteile durch Prägen 160
Schubert,
Α.;
Böhm,
T.;
Burkhardt, T.
Fraunhofer IWU Chemnitz
IV
P6
Extending speckle pattern
interferometry
for use on a microscopic scale
164
Aswendt, P. ;
Höfling,
R.1;
Hiller,
К.2;
Wiemer,
M.2
1 Fraunhofer IWU Chemnitz;
2
TU
Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
P7 Einfluß zufälliger Fehler auf den Mixed-Signal-Algorithmus filr die Differentiation 171
Ferchland, T.1; Boche, H.2; Fischer, J.3; Schreiber, H.4
1 TU Dresden, Institut für Grundlagen der Elektrotechnik;
2 Heinrich-Hertz-Institut für Nachrichtentechnik Berlin GmbH;
3 TU Dresden, Institut für Nachrichtentechnik;
4 TU Dresden, Institut für Grundlagen der der Elektrotechnik und Elektronik
P8 Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkrafimikroskopie 177
Knöfler, R.; Bertz,
Α.;
Wolf, K.; Küchler, M.; Geßner, T.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
P9 Bestimmung von Materialeigenschaften für
Mikrostrukturen
182
Schröter,
В.;
Mehner, J.; Kehr, K.; Hühnerfürst,
Α.;
Dötzel, W.
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
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