Ionized physical vapor deposition:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: San Diego [u.a.] Academic Press 1999
Schriftenreihe:Thin films 27
Schlagworte:
Beschreibung:XII, 253 S. Ill., graph. Darst.

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