Dielectric material integration for microelectronics:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 1998
Schriftenreihe:Electrochemical Society: Proceedings 1998,3
Schlagworte:
Beschreibung:X, 366 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1566771978

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