Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
Springer
2000
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XV, 382 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3540664971 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012847108 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150203 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 991102s2000 gw ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 957713665 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3540664971 |9 3-540-66497-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)614516305 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012847108 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-92 |a DE-573 |a DE-859 |a DE-703 |a DE-862 |a DE-1043 |a DE-1046 |a DE-91 |a DE-91G |a DE-29T |a DE-384 |a DE-M347 |a DE-522 |a DE-523 |a DE-526 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-898 | ||
| 084 | |a ST 340 |0 (DE-625)143665: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 3750 |0 (DE-625)157334: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZS 4000 |0 (DE-625)158249: |2 rvk | ||
| 084 | |a MAS 990f |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Kasper, Manfred |d 1957- |e Verfasser |0 (DE-588)1060856166 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrosystementwurf |b Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen |c Manfred Kasper |
| 264 | 1 | |a Berlin [u.a.] |b Springer |c 2000 | |
| 300 | |a XV, 382 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Systementwurf |0 (DE-588)4261480-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Systementwurf |0 (DE-588)4261480-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008742751&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742751 | ||
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-862_location | 2000 |
|---|---|
| DE-BY-FWS_call_number | 2000/ZN 3750 K19 |
| DE-BY-FWS_katkey | 174394 |
| DE-BY-FWS_media_number | 083000327172 |
| _version_ | 1824553789061857281 |
| adam_text | MANFRED KASPER MIKROSYSTEMENTWURF ENTWURF UND SIMULATION VON
MIKROSYSTEMEN MIT 182 ABBILDUNGEN UND 44-TABELLEN SPRINGER
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINFUEHRUNG 1 1.1 ENTWICKLUNG DER MIKROELEKTRONIK 1
1.2 MIKROSYSTEMTECHNIK UND NANOTECHNOLOGIE 5 1.3 CHANCEN DER
MINIATURISIERUNG 7 1.4 GROESSENAENDERUNG, SKALIERUNG 9 1.5 SKALIERUNG,
AEHNLICHKEIT UND KENNZAHLEN 13 1.5.1 DIE ABLEITUNG DER KENNZAHLEN DER
THERMIK 15 1.5.2 KENNZAHLEN DER ELEKTRODYNAMIK 16 1.5.3 ANWENDUNG DER
KENNZAHLEN 19 1.5.4 SKALIERUNGSGESETZE AUS KENNZAHLEN 20 1.6 LERNEN AUS
DER NATUR - BIONIK 24 1.7 EINFLUSS DER ABMESSUNGEN AUF DIE GESTALT 28 1.8
THESEN ZUM MIKROSYSTEMENTWURF 30 2 TECHNOLOGIEN DER MIKROSYSTEMTECHNIK
36 2.1 FEINWERKTECHNIK 37 2.2 LITHOGRAPHIE 37 2.3 SCHICHTABSCHEIDUNG 39
2.3.1 THERMISCHE OXIDATION 40 2.3.2 CVD-VERFAHREN 41 2.3.3 PVD-VERFAHREN
42 2.3.4 GALVANISCHE UND STROMLOSE METALLABSCHEIDUNG 44 2.4
STRUKTURIERUNG 46 2.4.1 NASSCHEMISCHES AETZEN 46 2.4.2 ANISOTROPES AETZEN
VON SILIZIUM 48 2.4.3 TROCKENAETZVERFAHREN 51 2.4.4 LASERBEARBEITUNG 53
2.5 PROZESSABLAEUFE 56 2.5.1 SILIZIUM MIKROMECHANIK 56 2.5.2
LIGA-VERFAHREN 58 2.5.3 HERSTELLUNG FREI BEWEGLICHER STRUKTUREN 59 2.5.4
PROZESSFOLGE ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN 61 VIII»
INHALTSVERZEICHNIS WERKSTOFFE DER MIKROSYSTEMTECHNIK 64 3.1
PHAENOMENOLOGISCHE BESCHREIBUNG 67 3.2 DARSTELLUNG UND TRANSFORMATION
TENSORIELLER MATERIALDATEN 72 3.3 DIFFUSION IN FESTKOERPERN 75 3.4
EIGENSCHAFTEN DUENNER SCHICHTEN 78 3.5 OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN 83 3.6
MONTE-CARLO- UND AB-INITIO-SIMULATION 85 ALLGEMEINE ENTWURFSMETHODEN 88
4.1 ENTWURFSABLAUF 89 4.1 SPEZIFIKATION 93 4.2 LOESUNGSMETHODEN FUER DIE
SYSTEMSTUDIE, KONZEPTPHASE 95 4.3 ERGEBNISSE DER KONZEPTPHASE 100
SYSTEMSIMULATION 103 5.1 SIMULATIONSEBENEN 103 5.2 NETZWERKANALYSE,
ANALOGSIMULATION 105 5.3 NICHTLINEARE NETZWERKE 114 5.4 NETZWERKANALYSE
ZEITABHAENGIGER SIGNALE, TRANSIENTE ANALYSE 119 5.5 LOESUNG DES
TRANSIENTEN PROBLEMS 122 BESCHREIBUNG PHYSIKALISCHER VORGAENGE DURCH
NETZWERKMODELLE 129 6.1 BESCHREIBUNG DURCH NETZWERKGLEICHUNGEN 130 6.2
SEPARATION VON ZEITKONSTANTEN UND AGGREGATION 134 6.3 VOLLSTAENDIGKEIT
UND VERNACHLAESSIGUNG KLEINER EFFEKTE 142 6.4 FELDAENDERUNG BEI DER
WELLENAUSBREITUNG 145 6.5 BONDGRAPHEN 147 MAKROMODEILE 153 7.1 KONZEPT
DER MAKROMODEILE 153 7.2 MODELLERSTELLUNG EINES BESCHLEUNIGUNGSSENSORS
156 7.3 IDENTIFIKATION FUER MAKROMODEILE 166 7.4 GRUNDLAGEN DER
ZEITBEREICHSMETHODEN 170 7.5 PARAMETERSCHAETZUNG DURCH ENTWICKLUNG 175
7.6 SIGNALUNABHAENGIGE TRANSFORMATIONEN MIT ORTHOGONALEN POLYNOMEN 182
7.7 NACHBILDUNG IM FREQUENZBEREICH 186 7.8 NICHTLINEARE SYSTEME 189
INHALTSVERZEICHNIS IX 8 NUMERISCHE FELDBERECHNUNG 195 8.1
DIFFERENZENVERFAHREN 196 8.2 FINITE-ELEMENTE-METHODE 202 8.3 BEHANDLUNG
DER RANDBEDINGUNGEN 211 8.4 VARIATIONSPROBLEME UND GALERKIN-VERFAHREN
214 8.5 WAHL DER ANSATZFUNKTIONEN 217 8.6 NETZGENERIERUNG 220 8.7
FEHLERABSCHAETZUNG UND ADAPTIVE NETZGENERIERUNG 223 8.8 WEITERE
FINITE-ELEMENTE-ANSAETZE 225 9 SYSTEMINTEGRATION 234 9.1 ELEKTRONISCHE
KOMPONENTEN 234 9.2 SIGNALUEBERTRAGUNG 238 9.3 ANSCHLUSS-UND
VERBINDUNGSDICHTE 244 9.4 AUSBEUTE UND TEST 250 9.5 ZUVERLAESSIGKEIT 255
10 PHYSIKALISCHER ENTWURF UND SYSTEMINTEGRATION 261 10.1 MODULENTWURF
263 10.2 PARTITIONIERUNG 267 10.3 PLAZIERUNG 274 10.4 THERMISCHE
PLAZIERUNG, ZUVERLAESSIGKEITSASPEKTE, 280 ALLGEMEINE KOPPLUNGEN 10.5
VERDRAHTUNG 284 11 SYSTEMOPTIMIERUNG 291 11.1 OPTIMIERUNGSZIELE,
OPTIMIERUNGSAUFGABE 291 11.2 OPTIMIERUNGSVERFAHREN 297 11.3
QUASI-NEWTON-METHODEN 300 11.4 KONJUGIERTE GRADIENTENVERFAHREN 302 11.5
ABLEITUNGSFREIE SUCHMETHODEN 305 11.6 STOCHASTISCHE
OPTIMIERUNGSVERFAHREN 307 11.6 BEHANDLUNG DER NEBENBEDINGUNGEN 316 12
MIKROAKTOREN 320 12.1 ENERGIEWANDLUNG 320 12.2 ELEKTROMAGNETISCHE
AKTOREN 323 12.3 ELEKTROSTATISCHE MIKROMOTOREN 327 12.4 PIEZOELEKTRISCHE
AKTOREN 334 INHALTSVERZEICHNIS 12.5 THERMISCH-MECHANISCHE AKTOREN 337
12.4 REIBUNG UND VERSCHLEISS 343 13 SENSOREN 348 13.1 SIGNALERFASSUNG UND
SIGNALAUFBEREITUNG 349 13.2 SENSOREN FUER MECHANISCHE GROESSEN 354 13.2.1
PIEZORESISTIVE SENSOREN 354 13.2.2 KAPAZITIVE SENSOREN 361 13.2.3
PIEZOELEKTRISCHE SENSOREN 363 13.2.4 RESONANZ SENSOREN 363 13.2.5
OBERFLAECHENWELLEN SENSOREN 367 13.3 CHEMO- UND BIOSENSOREN 369 13.4
MEHRKOMPONENTENANALYSE FUER SENSOREN 373 SACHVERZEICHNIS 377
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Kasper, Manfred 1957- |
| author_GND | (DE-588)1060856166 |
| author_facet | Kasper, Manfred 1957- |
| author_role | aut |
| author_sort | Kasper, Manfred 1957- |
| author_variant | m k mk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012847108 |
| classification_rvk | ST 340 ZN 3750 ZN 4980 ZS 4000 |
| classification_tum | MAS 990f |
| ctrlnum | (OCoLC)614516305 (DE-599)BVBBV012847108 |
| discipline | Handwerk und Gewerbe / Verschiedene Technologien Informatik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Maschinenbau |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01710nam a2200409 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV012847108</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150203 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">991102s2000 gw ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">957713665</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3540664971</subfield><subfield code="9">3-540-66497-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)614516305</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012847108</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-862</subfield><subfield code="a">DE-1043</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-M347</subfield><subfield code="a">DE-522</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-526</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ST 340</subfield><subfield code="0">(DE-625)143665:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3750</subfield><subfield code="0">(DE-625)157334:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZS 4000</subfield><subfield code="0">(DE-625)158249:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kasper, Manfred</subfield><subfield code="d">1957-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1060856166</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystementwurf</subfield><subfield code="b">Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen</subfield><subfield code="c">Manfred Kasper</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin [u.a.]</subfield><subfield code="b">Springer</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XV, 382 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Systementwurf</subfield><subfield code="0">(DE-588)4261480-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Systementwurf</subfield><subfield code="0">(DE-588)4261480-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008742751&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742751</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV012847108 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-02-20T06:41:27Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3540664971 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742751 |
| oclc_num | 614516305 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-92 DE-573 DE-859 DE-703 DE-862 DE-BY-FWS DE-1043 DE-1046 DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-29T DE-384 DE-M347 DE-522 DE-523 DE-526 DE-634 DE-83 DE-898 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-92 DE-573 DE-859 DE-703 DE-862 DE-BY-FWS DE-1043 DE-1046 DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-29T DE-384 DE-M347 DE-522 DE-523 DE-526 DE-634 DE-83 DE-898 DE-BY-UBR |
| physical | XV, 382 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Springer |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Kasper, Manfred 1957- Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Systementwurf (DE-588)4261480-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)4261480-6 |
| title | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen |
| title_auth | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen |
| title_exact_search | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen |
| title_full | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen Manfred Kasper |
| title_fullStr | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen Manfred Kasper |
| title_full_unstemmed | Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen Manfred Kasper |
| title_short | Mikrosystementwurf |
| title_sort | mikrosystementwurf entwurf und simulation von mikrosystemen mit 44 tabellen |
| title_sub | Entwurf und Simulation von Mikrosystemen ; mit 44 Tabellen |
| topic | Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Systementwurf (DE-588)4261480-6 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik Systementwurf |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=008742751&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kaspermanfred mikrosystementwurfentwurfundsimulationvonmikrosystemenmit44tabellen |
Inhaltsverzeichnis
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| Signatur: |
2000 ZN 3750 K19 |
|---|---|
| Exemplar 1 | ausleihbar Verfügbar Bestellen |